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位置检测装置
审中-实审

Position detection apparatus

申请号:201810126879.2 申请日:2015-06-26
摘要:本发明提供一种位置检测装置。该位置检测装置包括:检测单元,其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测,以及处理单元,其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置,其中,所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度,小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。
Abstract: The present invention provides a position detection apparatus including a detection unit configured to detect the moire fringes caused by overlap between a first diffraction grating including patternsarrayed in a first direction and a second diffraction grating including patterns arrayed in the first direction, and a processing unit configured to obtain a relative position of the first diffraction grating and the second diffraction grating based on the moire fringes, wherein the width of an end pattern of the patterns included in at least one of the first diffraction grating and the second diffraction grating in the first direction is smaller than the widths of the remaining patterns of the at least one diffraction grating in the first direction.
申请人: 佳能株式会社
Applicant: CANON KK
地址: 日本东京都大田区下丸子3-30-2
发明(设计)人: 佐藤浩司
Inventor: SATO HIROSHI
主分类号: G01B11/00(2006.01)I
分类号: G01B11/00(2006.01)I G03F7/00(2006.01)I
  • 法律状态
2018-07-13  实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/00申请日:20150626
2018-06-19  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种位置检测装置,该位置检测装置包括:检测单元,其被构造为对由包括在第一方向上排列的多个图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的多个图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测;以及处理单元,其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置,其中,所述第一衍射光栅的所述多个图案的端部图案的宽度,小于所述第一衍射光栅的所述多个图案的剩余图案的宽度,或者所述第一衍射光栅的所述多个图案的端部图案的宽度,小于所述第一衍射光栅的所述多个图案的剩余图案的宽度,并且所述第二衍射光栅的所述多个图案的端部图案的宽度,小于所述第二衍射光栅的所述多个图案的剩余图案的宽度。
公开号  108180836A
公开日  2018-06-19
专利代理机构  北京怡丰知识产权代理有限公司 11293
代理人  迟军 李艳丽
颁证日  
优先权  2014.06.27 JP 2014-133245;2015.06.09 JP 2015-116883
 
国别 优先权号 优先权日 类型
JP  2014-133245  20140627 
JP  2015-116883  20150609 
CN  201510369385  20150626  分案原申请 N 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
SEA  JPS4986980A  19740820  1-3,6-8  说明书第1-3页,附图1-7 
SEA  CN1036236A  19891011  1-13  全文 
SEA  CN101144730A  20080319  1-13  全文 
SEA  US2008094629A1  20080424  1-13  全文 
SEA  CN101246228A  20080820  1-13  全文 
SEA  CN102155914A  20110817  1-13  全文 
SEA  US2012328725A1  20121227  1-13  全文 
SEA  CN103105127A  20130515  1-3,6-8  说明书第0027-0119段,附图1-14 
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数