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一种多光束阶梯角反射镜激光干涉仪及其测量方法
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Multi-light-beam cascading staircase angle reflector laser interferometer and measurement method thereof

申请号:201510143646.X 申请日:2015-03-30
摘要:本发明涉及激光干涉测量技术领域,具体涉及一种多光束阶梯角反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、阶梯型角反射镜、移动角反射镜、光电探测器组以及微动平台,阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数),所述激光源可以生成多束平行激光,所述光电探测器组有n个光电探测器,激光干涉测量过程中,n个光电探测器将交替处于激光最强干涉状态或最弱干涉状态,测量精度可以达到。同时对于测量过程中严格满足多光路干涉状态交替变化的情况才对其进行计数,即在多光路干涉测量中引入交流信号,将传统的激光干涉测量中直流电平的测量转换为交流信号的测量,提高了干涉仪的抗干扰能力。
Abstract: The invention relates to the technical field of laser interference measurement, and specifically relates to a multi-light-beam cascading staircase angle reflector laser interferometer. The multi-light-beam cascading staircase angle reflector laser interferometer comprises a laser source, a beam splitter mirror, a staircase plane angle reflector mirror, a movable angle reflector, a photoelectric detector set and a micro-moving platform; the reflecting surface of the staircase plane angle reflector mirror is composed of n staircase planes; the space between two adjacent reflecting surfaces is shown in the specification (k is a natural number); the laser source can generate a plurality of parallel lasers; the photoelectric detector set is equipped with n photoelectric detectors which alternatively enter the maximum laser interference state or the minimum laser interference state during the laser interference measurement, and the measurement precision is shown in the specification. According to the multi-light-beam cascading staircase angle reflector laser interferometer, the counting can be carried out only under the condition that multi-light-path interference states alternatively vary during measuring, namely, an AC signal is introduced during multi-light-path interference measurement; the measurement of the DC level in the traditional laser interference measurement is converted into the AC signal measurement, and thus the interference resistance of an interference instrument can be improved.
申请人: 北方民族大学
Applicant: UNIV BEIFANG NATIONALITIES
地址: 750021 宁夏回族自治区银川********(隐藏)
发明(设计)人: 张白 毛建东 康学亮
Inventor: ZHANG BAI; MAO JIANDONG; KANG XUELIANG
主分类号: G01B9/02(2006.01)I
分类号: G01B9/02(2006.01)I
  • 法律状态
2018-04-10  授权
2015-07-08  实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02申请日:20150330
2015-06-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种多光束阶梯角反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、阶梯型角反射镜、移动角反射镜、光电探测器组以及微动平台,其特征在于,所述激光源包括n个平行激光束,其中n≥2,所述光电探测器组包括n个光电探测器,所述阶梯型角反射镜包括成直角的两反射面,反射面为n个成阶梯型的反射平面,相邻两个反射平面的间距等于其中k为自然数、λ为激光源发出的激光波长;每个所述激光源发出的激光经过所述分光镜反射后,分别射入对应一个反射平面,每个所述反射平面将对应激光束反射到对应的所述光电探测器组的各个光电探测器;所述激光源发出的每束激光经过所述分光镜透射后,分别入射到所述移动角反射镜后再反射到对应的光电探测器组的各个光电探测器;所述阶梯型角反射镜连接在所述微动平台上。
公开号  104697440A
公开日  2015-06-10
专利代理机构  四川力久律师事务所 51221
代理人  林辉轮 王芸
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  201510143646  20150330 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
SEA  JPH09280827A  19971031  1-6  全文 
SEA  JPH11142243A  19990528  5-6  说明书第[0014]、[0023]-[0027]段、图1 
SEA  JPH11142243A  19990528  1-4   
SEA  CN102023050A  20110420  5-6  说明书第[0024]-[0046]段,附图1-3、5 
SEA  CN102645269A  20120822  5-6  说明书第[0019]-[0038]段,附图2 
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
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类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数