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一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪及使用方法
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Motion-compensated corner reflection mirror laser interferometer and using method

申请号:201510143547.1 申请日:2015-03-30
摘要:本发明公开了一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪及使用方法,其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动角反射镜、测量角反射镜、光电探测器,还包括可移动微动平台,微动角反射镜与测量角反射镜包括一个向内凹陷的直角反射面,微动角反射镜连接在微动平台上;该微动平台优选为压电陶瓷。该改进型角反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台,使微动角反射镜发生位移,配合测量角反射镜、激光源、分光镜、光电探测器,能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分,可以进一步提高该激光干涉仪的测量精度。
Abstract: The invention discloses a motion-compensated corner reflection mirror laser interferometer and a using method. The laser interferometer comprises a laser source, a beam splitter mirror, a micro-motion corner reflection mirror, a measurement corner reflection mirror and a photoelectric detector and further comprises a movable micro-motion platform, wherein the micro-motion corner reflection mirror and the measurement corner reflection mirror each comprises an inwards-sunken right-angle reflection plane, and the micro-motion corner reflection mirror is connected to the micro-motion platform. The micro-motion platform is preferentially made from piezoelectric ceramic. The improved corner reflection mirror laser interferometer enables the micro-motion corner reflection mirror to displace through the movable micro-motion platform and can obtain the decimal parts of interference waves difficult to measure in the laser interference process through the measurement corner reflection mirror, the laser source, the beam splitter mirror and the photoelectric detector, and the measurement accuracy of the laser interferometer can be further improved.
申请人: 北方民族大学
Applicant: UNIV BEIFANG NATIONALITIES
地址: 750021 宁夏回族自治区银川********(隐藏)
发明(设计)人: 张白 康学亮 毛建东
Inventor: ZHANG BAI; KANG XUELIANG; MAO JIANDONG
主分类号: G01B9/02(2006.01)I
分类号: G01B9/02(2006.01)I
  • 法律状态
2021-01-08  专利权的转移IPC(主分类):G01B9/02登记生效日:20201225变更前专利权人:北方民族大学变更前地址:750021 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北街204号变更后专利权人:徐州企润食品有限公司变更后地址:221000 江苏省徐州市邳州市邹庄镇工业园区
2018-03-13  授权
2015-07-08  实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02申请日:20150330
2015-06-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪,包括激光源(1)、分光镜(2)、微动角反射镜(3)、测量角反射镜(4)、光电探测器(5),其特征在于,还包括可移动的微动平台(6),所述微动角反射镜(3)与测量角反射镜(4)均包括有一个向内凹陷的直角反射面,所述微动角反射镜(3)连接在所述微动平台(6)上。
公开号  104697438A
公开日  2015-06-10
专利代理机构  四川力久律师事务所 51221
代理人  林辉轮
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  201510143547  20150330 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
SEA  JPH11183116A  19990709  1-5  全文 
SEA  CN101067546A  20071107  1-5  全文 
SEA  CN101493311A  20090729  1-5  全文 
SEA  CN102023050A  20110420  4-5  说明书第[0024]-[0046]段,附图1-3、5 
SEA  CN102645269A  20120822  4-5  说明书第[0019]-[0038]段,附图2 
SEA  CN102645269A  20120822  1-3   
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
CN104697438B
 
引用文献
JPH11183116ACN101067546ACN101493311A
CN102023050ACN102645269A
 
被引用文献
CN105277118ACN105352435A