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用于印制周期图案的方法和设备
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Method and apparatus for printing periodic patterns

申请号:201180059257.9 申请日:2011-10-12
CN201180059257
CN103403620A
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摘要:一种用于印制特征的图案的方法包括下列步骤:提供其上设置了记录层的衬底;提供具有特征的周期图案的掩模;将衬底排列成平行于掩模并且带有具有初始值的间隔;提供用于以单色光的强度来照射掩模以生成用于对记录层进行曝光的透射光场并且在通过具有预期值的距离和以间隔变化率来改变间隔的同时将掩模照射某个曝光时间的照射系统,其中间隔变化率和光线强度中的至少一个在间隔变化期间改变,由此掩模通过随所述距离而改变的间隔每一递增变化上的能量密度来照射。
Abstract: A method for printing a pattern of features including the steps of providing a substrate having a recording layer disposed thereon, providing a mask bearing a periodic pattern of features, arranging the substrate parallel to the mask and with a separation having an initial value, providing an illumination system for illuminating the mask with an intensity of monochromatic light to generate a transmitted light-field for exposing the recording layer, and illuminating the mask for an exposure time whilst changing the separation by a distance having a desired value and with a rate of change of separation, wherein at least one of the rate of change of separation and the intensity of light are varied during the change of separation, whereby the mask is illuminated by an energy density per incremental change of separation that varies over said distance.
申请人: 尤利塔股份公司
Applicant: EULITHA A G
地址: 瑞士菲利根
发明(设计)人: H·索拉克 F·克卢贝 C·戴斯
Inventor: SOLAK HARUN; CLUBE FRANCIS; DAIS CHRISTIAN
主分类号: G03F7/20(2006.01)I
分类号: G03F7/20(2006.01)I
  • 法律状态
2015-08-05  授权
2013-12-18  实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20111012
2013-11-20  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种用于印制特征的图案的方法,包括下列步骤:a)提供其上设置了记录层的衬底;b)提供具有特征的周期图案和特征的准周期图案中的至少一个的掩模;c)将所述衬底排列成与所述掩模基本上平行并且具有第一预期值的初始间隔;d)提供用于采用基本上单色并且基本上准直的光线来照射所述掩模的照射系统,所述光线具有某个强度,使得由所述掩模所透射的光场对所述记录层进行曝光;以及e)将所述掩模照射某个曝光时间,同时以间隔变化率来将所述间隔改变第二预期值,其中所述间隔变化率和所述光线强度中的至少一个随间隔变化而改变,使得所述掩模通过随变化间隔而改变的间隔每一递增变化上的能量密度来照射;由此,在所述记录层中印制的所述图案对所述初始间隔与所述第一预期值的偏差以及对所述间隔变化与所述第二预期值的偏差具有低敏感性。
公开号  103403620A
公开日  2013-11-20
专利代理机构  中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人  俞华梁 朱海煜
颁证日  
优先权  2010.10.13 US 12/903,389;2011.02.25 US 13/035,012
 
国别 优先权号 优先权日 类型
WO  PCT/IB2011/054509  20111012  PCT application claimed as a regional filing N 
US  12/903,389  20101013 
US  13/035,012  20110225 
国际申请  2011-10-12 PCT/IB2011/054509
国际公布  2012-04-19 WO2012/049638 EN
进入国家日期  2013.06.07
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
SEA  CN101384967A  20090311  1-20  全文 
SEA  US2008186579A1  20080807  1-20  全文 
SEA  CN101351746A  20090121  1-20  全文 
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数