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二氧化碳激光波长测量装置
无权-视为撤回

Carbon dioxide laser wavelength measuring apparatus

申请号:201110190625.5 申请日:2011-07-08
摘要:本发明公开了一种二氧化碳激光波长测量装置,包括光学系统、电子系统和扫描系统,二氧化碳激光光束通过入射狭缝,经第一准直球面反射镜、聚焦球面反射镜反射成平行光束投向由步进电机通过正弦机构控制转动的平面衍射光栅上,得到波长与平面衍射光栅转动角度成正弦关系的衍射光束,该衍射光束经物镜、第二准直球面反射镜和出射狭缝到达碲鎘汞探测器,通过出射狭缝的出射光信号经碲鎘汞探测器变换为电信号,经放大、A/D变换,由计算机处理测得二氧化碳激光波长。本发明的有益效果是,克服了现有二氧化碳激光波长测量装置的缺点,具有功能强大,性价比高、测量精度高、测量速度快、操作简单等特点,而且体积小巧,方便集成到系统中进行在线监测。
Abstract: The invention discloses a carbon dioxide laser wavelength measuring apparatus which comprises: an optical system, an electronic system and a scanning system. Carbon dioxide laser beams pass through an entrance slit, are reflected into parallel beams by a first collimation sphere reflector and a focusing sphere reflector and then are beamed on a plane diffraction grating whose rotation is controlled by a stepping motor through a sine mechanism so that diffraction beams whose wavelength forms a sine relationship with a plane diffraction grating rotation angle can be obtained. The diffraction beams arrive a tellurium cadmium mercury detector via an objective lens, a second collimation sphere reflector and an exit slit. An emergent light signal which passes through the exit slit is converted into an electrical signal through the tellurium cadmium mercury detector. Through amplification, an A/D conversion, the carbon dioxide laser wavelength can be measured through processing. By using the apparatus, the disadvantages in the current carbon dioxide laser wavelength measuring apparatus can be overcome. Functions are powerful. Cost performance is high. Measuring precision is high. A measuring speed is fast. Operation is easy. The apparatus has many other characteristics. A volume is small. The apparatus is convenient to be integrated into the system to perform the on-line monitoring.
申请人: 上海市激光技术研究所
Applicant: SHANGHAI INST LASER TECHNOLOGY
地址: 200233 上海市徐汇区宜山路********(隐藏)
发明(设计)人: 崔瑛 吴鸯 于航
Inventor: YING CUI; YANG WU; HANG YU
主分类号: G01J9/00(2006.01)I
分类号: G01J9/00(2006.01)I G01M11/02(2006.01)I
  • 法律状态
2013-06-12  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G01J 9/00申请公布日:20120215
2012-03-28  实质审查的生效IPC(主分类):G01J 9/00申请日:20110708
2012-02-15  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种二氧化碳激光波长测量装置,其特征在于,该装置主要包括光学系统、电子系统和扫描系统,所述的光学系统包括聚焦球面反射镜(1)、物镜(2)、入射狭缝(3)、第一准直球面反射镜(4)、平面衍射光栅(5)、第二准直球面反射镜(6)、出射狭缝(7)和碲鎘汞探测器(8);所述的电子系统主要包括前置放大器(9)、计算机(10)、A/D变换器(11)和D/A变换器(12);所述扫描系统由步进电机(13)和正弦机构(14)组成,正弦机构(14)通过丝杠与平面衍射光栅(5)相连接;由二氧化碳激光光源发出的光束进入入射狭缝(3),入射狭缝(3)位于聚焦球面反射镜(1)的焦面上,通过入射狭缝(3)射入的光束经第一准直球面反射镜(4)、聚焦球面反射镜(1)反射成平行光束投向由步进电机通过正弦机构(14)控制转动的平面衍射光栅(5)上,得到波长与平面衍射光栅(5)转动角度成正弦关系的衍射光束,该衍射光束经物镜(2)、第二准直球面反射镜(6)和出射狭缝(7)到达碲鎘汞探测器(8),通过出射狭缝(7)的出射光信号经碲鎘汞探测器(8)变换为电信号,电信号经前置放大器(9)放大经A/D变换器(11)将模拟量转换数字量,由计算机(10)处理测得二氧化碳激光波长。
公开号  102353462A
公开日  2012-02-15
专利代理机构  上海申汇专利代理有限公司 31001
代理人  吴宝根
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  201110190625  20110708 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
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  • 期刊对比文献
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  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
 
引用文献
US2005236563A1US2006012786A1CN101008584A
CN101071929ACN101093175ACN101206141A
CN101726359A
 
被引用文献