搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

具有微结构的模芯及其制造方法
有权
阅读授权文献

Micro structure mold core and its manufacture method

申请号:200710175990.2 申请日:2007-10-17
摘要:本发明涉及一种具有微结构的模芯,包括模版和设置在模版一面的微结构,模芯具有各向异性刻蚀率,微结构包括至少一个凸起或者至少一个凸条,凸起或凸条的侧面与模版底面之间的夹角相同。本发明还涉及一种具有微结构的模芯的制造方法,包括:在具有各向异性刻蚀率的模版上涂布光刻胶;在掩模板的遮掩下曝光模版上的光刻胶;去除模版上被曝光的光刻胶;刻蚀模版表面未被光刻胶覆盖的区域,形成具有至少一个凸起或者至少一个凸条的微结构;去掉模版表面上残留的光刻胶,形成具有微结构的模芯。本发明有效降低了制造具有微结构的模芯的成本,同时简化了模芯的制造方法。本发明有效降低了制造具有微结构的模芯的成本,同时简化了模芯的制造方法。
Abstract: This invention relates to a sort of core rod which has the microstructure, and it consists of the stencil and the microstructure which is fixed in the one side of the stencil. The core rod has each aspect of the isomerism etching rate, and the microstructure consists of a heave at least and a protruding bar at least. The included angle which is between the flank of the heave or the protruding bar and the bottom of the stencil is homology. This invention also relates to a sort of manufacturing method of the core rod which has the microstructure, and it includes that: imbrue the light-sensitive lacquer to the stencil which has each aspect of the isomerism etching rate, expose the light-sensitive lacquer of the stencil in the cloak of the mask plate, wipe off the light-sensitive lacquer which is exposed and which is in the stencil, chisel the area which is in the surface of the stencil and which is not covered by the light-sensitive lacquer, form the microstructure which has a heave at least and a protruding bar at least, wipe off the rudimental light-sensitive lacquer which is in the surface of the stencil, and from the core rod which had the microstructure. This invention debases the cost that it manufactures the core rod of the core rod which has the microstructure availably, and at the same time it predigests the manufacturing method of the core rod.
申请人: 京东方科技集团股份有限公司
Applicant: BOE TECHNOLOGY GROUP CO LTD[CN]
地址: 100016北京市********(隐藏)
发明(设计)人: 刘敬伟 王刚
Inventor: JINGWEI LIU[CN]; GANG WANG[CN]
主分类号: G03F7/00(2006.01)I
分类号: G03F7/00(2006.01)I
  • 法律状态
2010-09-01  授权
2008-05-21  实质审查的生效
2008-03-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种具有微结构的模芯,其特征在于包括模版和设置在所述模版一面 的微结构,所述模芯具有各向异性刻蚀率,所述微结构包括至少一个凸起或 者至少一个凸条,所述凸起或凸条的侧面与模版底面之间的夹角相同。
公开号  101149560A
公开日  2008-03-26
专利代理机构  北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人  刘芳
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  200710175990  20071017 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
CN101149560B
 
引用文献
 
被引用文献
CN104972271ACN105154855A