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抗蚀涂层材料
无权-视为撤回

申请号:98800689.8 申请日:1998-05-06
摘要:一种抗蚀涂料材料的配方,包括:$(i)3—30重量%的单体和/或聚合的、没有金属或含有金属的形成螯合物的化合物,$(ii)10—80重量%结合氢氧根离子的物质,和$(iii)5—65重量%基于碳的传导性颜料。
申请人: 默克专利股份有限公司
地址: 联邦德国达姆施塔特
发明(设计)人: R·格劳施
主分类号: C09D5/08
分类号: C09D5/08 C09B67/00
  • 法律状态
2001-02-28  
1999-08-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种抗蚀涂料配方,其特征在于它包括: (ⅰ)3-30重量%的单体和/或聚合的、没有金属或含有金属的形成螯合物 的通式Ⅰ或Ⅱ的化合物, 其中各自出现的A和B是芳族或脂环族基团,该基团也可含有诸如S,Se,O和N的杂原子并还可有芳基,烷基或卤代基或者含有氧、氮或硫的基团作另 外的取代基, R1,R2,R3和R4是氢原子或烷基基团,且 Me是Cu,Fe,Ni,Co,Mn,Bi,Sn,Zn,或H2; (ⅱ)10-80重量%结合氢氧根离子的物质,和 (ⅲ)5-65重量%基于碳的传导性颜料。
公开号  1226912
公开日  1999-08-25
专利代理机构  中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人  陈季壮
颁证日  
优先权  1997.5.23 DE 19721645.5
国际申请  PCT/EP98/02656 98.5.6
国际公布  WO98/53014 德 98.11.26
进入国家日期  1999.01.22