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共聚物树脂,其制备方法及用其制成的光致抗蚀剂
有权
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申请号:98126607.X 申请日:1998-12-29
摘要:本发明涉及一种使用于远紫外线(像KrF或ArF)的光致抗蚀剂的共聚物树脂、其制备方法及包含此树脂的光致抗蚀剂。本发明的共聚物因其可将顺-5-降冰片烯-内-2,3-二羧酸单甲酯单元导入用作光致抗蚀剂之降冰片烯-顺丁烯二酸酐共聚物的结构中,因此可以传统自由基聚合反应容易地制备。此树脂在193nm波长时具有高的透明性,蚀刻阻抗性增加,并解决了在共聚物树脂合成过程中产生刺激性气味的问题。再者,因为此树脂组成由于分子结构的原因,所以可轻易的控制,因此,此树脂可以大规模地制造。
申请人: 现代电子产业株式会社
地址: 韩国京畿道
发明(设计)人: 郑旼镐 郑载昌 卜喆圭 白基镐
主分类号: C08F222/06
分类号: C08F222/06 C08F224/00 G03F7/00
  • 法律状态
2004-05-12  授权
2001-03-07  
1999-08-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种分子量为3,000-100,000的共聚物树脂,包括顺-5-降冰片烯 -内-2,3-二羧酸单甲酯单元,该共聚物树脂由下式Ⅲ所表示: 其中,R是叔丁基、四氢吡喃基、四氢呋喃基或乙氧基乙基,且 x∶y∶z的比例是(0.1-99%)∶(0.1-99%)∶(0.1-99%)。
公开号  1226565
公开日  1999-08-25
专利代理机构  中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人  丁业平
颁证日  
优先权  1997.12.29 KR 77412/97
国际申请  
国际公布  
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