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弹性体微机电系统
无权-未缴年费

申请号:96194329.7 申请日:1996-04-26
摘要:一种机电转换器,它具有一载有多个弹性体微结构(5)的衬底(4),在每个微结构上有一微电极(6)。将一电源(11)电气连接到微电极上,用于控制将一电势施加到微电极上,该电势交替地在相邻对的微电极间诱发吸引力,从而使微电极产生受控的、时变位移。作为替代方案,进一步的多个微电极(14)、或者一个或多个宏电极(32)被弹性地支承高出微电极之上,电源则被连接到宏电极上,其方式使施加于微电极和宏电极之间的电势交替地在微电极和宏电极之间诱发吸引力,从而使微电极相对于宏电极进行受控的、时变位移。宏电极也可被施加到衬底与微结构相对的一侧。
申请人: 不列颠哥伦比亚大学
地址: 加拿大温哥华
发明(设计)人: 洛恩·A·怀特黑德 布伦特·J·博勒曼
主分类号: B06B1/02
分类号: B06B1/02 G01H11/06
  • 法律状态
2006-06-28  
1999-12-08  授权
1998-07-08  
1998-07-01  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种机电转换器,其特征为: (a)一个第一衬底(4),在上述衬底的一侧载有多个第一弹性 体微结构(5); (b)在上述多个第一弹性体微结构的每一个上的一第一微电极 (6);以及 (c)用于对上述微电极施加电势进行控制的、与上述微电极电气 连接的电源(11)装置。
公开号  1186458
公开日  1998-07-01
专利代理机构  中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人  张兆东
颁证日  
优先权  1995.5.1 US 08/431,735
国际申请  PCT.CA96/00268 96.4.26
国际公布  WO96.34701 英 96.11.7
进入国家日期  1997.12.01