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薄膜电容式湿敏装置
无权-未缴年费

申请号:95222307.4 申请日:1995-09-14
摘要:本实用新型属传感装置领域,具体为一种薄膜电 容式湿敏装置。其特点是芯片粘接在管座上,光刻下 电极在上电极引出中,上电极引出为“”形,绝缘层 上面是光刻下电极和上电极引出,下面是硅基片。感 湿膜上面是光刻上电极,下面是光刻下电极和上电极 引出,内引线与上电极引出和下电极连接。本实用新 型结构简单、成本低廉,可大规模批量生产,基础电容 量大,体积小,安装使用方便。
申请人: 电子工业部第四十九研究所
地址: 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区一曼街3号
发明(设计)人: 孙晴 张树琨 赵国强
主分类号: G01N27/22
分类号: G01N27/22
  • 法律状态
1999-11-10  
1996-12-25  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种薄膜电容式湿敏装置,它是由硅基片(1)、 绝缘层(2)、光刻下电极(3)、上电极引出(4)、感湿膜 (5)、光刻上电极(6)、内引线(7)、管座(8)、管帽(9)、 外引线(10)、芯片(11)组成,其特征是:芯片(11)粘接 在管座(8)上,光刻下电极(3)在上电极引出(4)中,上 电极引出(4)为 形,绝缘层(2)上面是光刻下电极 (3)和上电极引出(4),下面是硅基片(1),感湿膜(5)上 面是光刻上电极(6),下面是光刻下电极(3)和上电极引 出(4),芯片(11)是由硅基片(1)、绝缘层(2)、光刻下 电极(3)、上电极引出(4)、感湿膜(5)、光刻上电极(6) 组成,内引线(7)与上电极引出(4)和下电极(3)连接。
公开号  2243659Y
公开日  1996-12-25
专利代理机构  哈尔滨专利事务所
代理人  张学敏
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期