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一种低温镀复金刚石薄膜的方法及设备
无权-视为撤回

申请号:95111077.2 申请日:1995-06-16
摘要:一种镀复金刚石薄膜的方法和设备,它是应用高频等离子体化学汽相沉积法以一氧化碳和氮气为气源,在衬底表面镀覆金刚石薄膜。用本发明的方法可以在室温至500℃温度下镀覆金刚石薄膜,因而在塑料、钢、铁等衬底表面都能镀覆金刚石薄膜。本发明的镀覆设备价廉易行,可适用于不同大小和形状的工件。
申请人: 南京大学 南京大学天地金钢石镀膜技术开发中心
地址: 210093江苏省南京市汉口路22号
发明(设计)人: 王志超
主分类号: C23C16/26
分类号: C23C16/26
  • 法律状态
1998-11-25  
1996-12-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种镀复金刚石薄膜的方法,其特征是以一氧化碳和氮混合气 体为气源,应用高频等离子体化学汽相沉积法在衬底表面镀复金刚石薄 膜。
公开号  1138635A
公开日  1996-12-25
专利代理机构  南京大学专利事务所
代理人  黄嘉栋
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期