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凹形石墨烧结舟
无权-未缴年费

申请号:94228384.8 申请日:1994-04-20
摘要:本实用新型公开了一种凹形石墨烧结舟。在石墨烧结舟的上部有一个凹槽,所述凹槽的内侧壁上有一个台阶、底部有一个通孔,在该烧结舟的底部还有一个圆形凸台,其中凸台的外径小于凹槽对应台阶上部的内径且大于凹槽对应台阶下部的内径。其优点是避免了边缘局部返铝、减少了局部缺铝及孔洞、避免了石墨粉夹层且压力均匀性好、硅片利用率高、表面造型容易。
申请人: 夏吉夫 郑锦春
地址: 121001辽宁省锦州市27号信箱二车间
发明(设计)人: 夏吉夫 郑锦春
主分类号: F27D5/00
分类号: F27D5/00 F27B21/08
  • 法律状态
1997-06-11  
1995-01-11  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种凹型石墨烧结舟,其上部有一个凹槽,其特征在于,所述凹槽(4)的内侧壁上有一个圆形台阶(3)、底部有一个通孔(2),在该烧结舟的底部还有一个圆形凸台(1),其中凸台(1)的外径(φ1)小于凹槽(4)对应台阶(3)上部的内径(φ3)且大于凹槽(4)对应台阶(3)下部的内径(φ2)。
公开号  2187291
公开日  1995-01-11
专利代理机构  锦州市专利事务所
代理人  李辉
颁证日  1994-12-10
优先权  
国际申请  
国际公布  
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