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等离子体多弧离子镀膜装置
无权-未缴年费

申请号:94207535.8 申请日:1994-04-04
摘要:本实用新型公开了一种等离子体多弧离子镀膜装置,是一种物理汽相沉积技术,用于工作表面镀层。离化源采用了前端呈球面凸形的圆柱体离化体,阴极底座外部装有环形永久磁铁,离化体外围设置了可调式屏蔽件,离化体前部设有隔网,并采用了由引弧板、电磁换向阀和气缸组成的自动引弧系统。因此,磁场分布均匀,离化率高,引弧灵敏可靠,镀层质量好。
申请人: 遵化市钛金设备厂
地址: 064202河北省遵化市新店子镇
发明(设计)人: 杨宁合 王百江 窦久存 李兰民 王百新
主分类号: C23C14/32
分类号: C23C14/32
  • 法律状态
1998-06-03  
1995-01-11  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种等离子体多弧离子镀膜装置,包括阳极壳体、阴极底座、真空机组、加热器、旋转工件架、永久磁铁、离化体、屏蔽件、自动引弧系统,其中自动引弧系统中的引弧板是由双向可控硅开关电路和556无稳态电路构成的无触点引弧板,其特征在于: a.阴极底座外部装有环形永久磁铁; b.离化体为前端呈原始球面凸形的圆柱体,其外围装有可调式屏蔽件,前部装有隔网; c.自动引弧系统还包括电磁换向阀、气缸,其中引弧板的取样端与阴极底座连接,输出端与电磁换向阀的线圈连接,该换向阀设置三条气路管,其中一条为压力空气输入管,另两条分别与气缸前端和后端连通,气缸活塞与引弧丝连为一体并通过引弧电阻与壳体一同接地。
公开号  2187177
公开日  1995-01-11
专利代理机构  唐山专利事务所
代理人  张云和
颁证日  1994-12-17
优先权  
国际申请  
国际公布  
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