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双框架压电驱动微调样品台
无权-未缴年费

申请号:93203906.5 申请日:1993-02-25
摘要:本实用新型涉及一种双框架压电驱动微调样品台,属物理测试技术领域。样品台由内外两层框架组成,外层框架固定在底座的支架上,内外层框架间通过连接键相联,样品台置于内框架上,框架的两面粘有压电陶瓷片。向压电陶瓷片施加电压时,使框架产生不同方向的位移。本实用新型设计的样品台移动范围大,可适用于多种微动调节装置的要求。
申请人: 清华大学
地址: 100084北京市海淀区清华园
发明(设计)人: 田嘉禾 周铁英 王世亮 金雷
主分类号: G01N35/00
分类号: G01N35/00
  • 法律状态
1997-04-16  
1993-11-24  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种双框架压电驱动微调样品台,其特征在于微调样品台由内外两层框架组成,外层框架固定在底座的支架上,内外层框架之间通过连接键相联,样品台置于内框架上,框架的两面粘有压电陶瓷片。
公开号  2147536Y
公开日  1993-11-24
专利代理机构  清华大学专利事务所
代理人  罗文群
颁证日  1993-10-03
优先权  
国际申请  
国际公布  
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