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脉冲高能量密度等离子体用于材料表面处理的方法
无权-未缴年费

申请号:93107530.0 申请日:1993-07-03
摘要:本发明属于等离子体技术的应用领域,特别是脉冲高能量密度等离子体用于材料表面处理的方法,其特征在于将用于受控核聚变研究的高能量密度等离子体引入材料表面改性领域,除了具有激光束和电子束的快速加热速冷却的热效应外,还有等离子体气相沉积和表面元素渗入的效应,使用不同的等离子体源、电极材料和工作气体,既可有个别的效应,也可有复合效应,并可提交能量利用效率,降低材料表面改性的成本,达到一机多用。
申请人: 中国科学院物理研究所
地址: 100080北京市603信箱
发明(设计)人: 杨思泽 李兵 吴成 鲁伟 刘赤子
主分类号: C23C14/34
分类号: C23C14/34 C23C8/36 H01J37/34
  • 法律状态
2002-08-28  
1998-05-06  授权
1996-04-03  
1995-01-11  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种脉冲高能量密度等离子体用于材料表面处理的方法,其特征在于: (1)将被处理的材料放入真空室,真空抽到预定值(根据工作条件也可不抽真空,即在不同的大气压下工作), (2)根据样品改性需要,选用合适的工作气体, (3)通过充电过程,将能量储存于储能器件并达到预定值, (4)部分储能器件释放能量使快速脉冲进气阀动作,工作气体喷入枪体, (5)通过另一部分储能器件能量的释放,将进入枪体的工作气体击穿,形成等离子体并将等离子体加热和加速,成为脉冲高能量密度等离子体, (6)等离子体鞘在枪膛中运动的同时将等离子体源中电极的材料溅射出来,并携其一起运动,通过筛缩圈(也可不通过), (7)变速、变温且夹杂着电极材料的等离子体喷出枪口,作用于材料表面, (8)用夹持材料的夹持架夹住材料,夹持架由步进电机控制和驱动材料每受一次或数次等离子体束的轰击后,步进电机驱动夹持架转动一个角度或移动一个位置,再次轰击材料,直至轰击全过程完成。
公开号  1097223
公开日  1995-01-11
专利代理机构  中国科学院专利事务所
代理人  王幼明 高存秀
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期