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以扫描法布里-珀罗共振器作为传感部分元件的光学压力传感器
无权-未缴年费

申请号:93106162.8 申请日:1993-05-19
摘要:测力传感器包括:主体15,感应元件27(用其相对主体的变位计算所加的力)和光检测组件1,8,该主体和元件组成短的法布里-珀罗共振器21、23。该组件包括宽谱光源和共振器的光强检测器8及光导3。扫描法布里-珀罗共振器41,49,51位于光源和检测器之间,其光程周期可控的检测器显示强度最小或最大值,而相角检测元件在来自扫描共振器的强度信号为最小或最大时检测,以确定与施加在感应元件上的外力成比例的感应共振器4的光程。
申请人: 外沙拉技术股份公司
地址: 芬兰万塔
发明(设计)人: A·列托 A·科霍伦 M·奥彭纳 S·坦梅拉
主分类号: G01L1/24
分类号: G01L1/24
  • 法律状态
2008-07-16  专利权的终止(未缴年费专利权终止)授权公告日:1999.12.22
1999-12-22  授权
1995-09-13  
1993-12-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种测力传感器,该传感器包括: 主体部分(15); 弹性安装在所述主体部分(15)上的感应元件(27,37)。致动的所述感应元件作为一个受力元件可用其相对于主体部分(15)的变位计算出施加在所述感应元件(27,37)上的力,和决定感应元件(27,37)变位的光学检测装置(1,6,8)。 其特征在于: 所述主体部分(15)和所述感应元件(27,37)组成的反射方式下工作的短的光学法布里珀罗感应共振器(21,23,33), 所述光学探测装置(1,6,8)包括: 通过光连接到所述感应共振器(21,23,33)的宽光谱光源(1); 通过光连接到所述光源(1)上的,用于检测由所述感应共振器(21,23,33)改变的光强的强度检测器(8); 光连接到所述感应共振器(21,23,33)和所述光源(1)上,带有可控光程的扫描法布里珀罗共振器(41,49,51)。其可控光程用于确定与施加在感应元件(27)上的(F,F′)成比例的感应共振器(21,23,33)的光程。
公开号  1079822
公开日  1993-12-22
专利代理机构  中国专利代理(香港)有限公司
代理人  吴增勇 程天正
颁证日  
优先权  1992.5.19 FI 922263
国际申请  
国际公布  
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