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基于法布里-珀罗其振腔的光学压力传感器
无权-未缴年费

申请号:93106073.7 申请日:1993-05-19
摘要:一种测力传感器。它包括主体部件15,弹性装在部件15上的感测元件27、37,作为受力元件,其相对于部件15的变位来计算加在元件上的力致动的感测元件;和决定感测元件的变位的光测组件1,2,3,5,6。按本发明所述部件和元件组成反射模式的短光法布里-珀罗共振器21,23。光测组件包括宽谱光源,把其光束导向共振器33并导回感测元件的光导体2,3和把共振器的光谱分辨成波段的色散元件5,以及检测色散光谱中最大吸收值波长的检测元件6。
申请人: 外沙拉技术股份公司
地址: 芬兰万塔
发明(设计)人: A·列托 M·奥彭纳 A·科霍伦 S·坦梅拉
主分类号: G01L1/24
分类号: G01L1/24
  • 法律状态
2008-07-16  专利权的终止(未缴年费专利权终止)授权公告日:1999.12.22
1999-12-22  授权
1995-09-13  
1993-12-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种测力传感器,所述传感器包括: 主体部分(15); 弹性地安装在所述主体部分(15)上的感应元件(27,37),作为一个受力元件的致动后感应元件可利用其相对于主体部分(15)的弯曲度计算施加在所述感应元件(27,37)上的力,和 决定感应元件(27,37)弯曲度的光学检测装置(1,2,3,5,6), 其特征在于: 所述主体部分(15)和所述感应元件(27,37)组成一短的,在反射状态下工作的光学法布里珀罗共振器(21,23); 所述光学检测装置(1,2,3,5,6)包括: 宽频谱光源(1); 把一束光从所述光源(1)导向所述共振器(33)并导回到检测元件的光导体(2,3); 把所述共振器(33)接收到的光谱分辨成若干波段的色散元件(5); 检测色散光谱中吸收最大值(A1,A2)的波长的检测元件(6); 借此可利用光强最小值的位置计算出与施加在感应元件(27,37)上的外力(F,F′)成比例的共振器(33)的光程。
公开号  1079821
公开日  1993-12-22
专利代理机构  中国专利代理(香港)有限公司
代理人  吴增勇 程天正
颁证日  
优先权  1992.5.19 FI 922262
国际申请  
国际公布  
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