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有机聚合物膜的光增强扩散形成图案
无权-未缴年费
更正

申请号:93104958.X 申请日:1993-05-07
摘要:一种在有机聚合物膜上形成图案的方法,它包括以下步骤:$(a)在基片上施加一层包含(a1)有机聚合粘合剂、(a2)烯不饱和单体和(a3)光引发体系的未形成图案的感光性的第一层;$(b)在感光性的第一层上施加形成图案的第二层,它包含(b1)防止光化射线通过的对射线不透明材料和(b2)能改变感光材料在预定的冲洗液中的分散能力的扩散剂;$(c)将感光性的第一层暴露于光化射线中,使该感光性的第一层中那些未被形成图案的第二层覆盖的部分发生光固化;$(d)使扩散剂按图案扩散到其下的感光性的第一层中;和$(e)用预定的冲洗剂洗涤,除去感光性的第一层中的在该冲洗剂中可分散的部分;步骤(c)是在步骤(d)之前、之后或同时进行的。
申请人: E·I·内穆尔杜邦公司
地址: 美国特拉华州
发明(设计)人: W·J·内伯 J·K·霍尔茨普费尔
主分类号: G03F7/033
分类号: G03F7/033 G03F7/09
  • 法律状态
2012-07-11  未缴年费专利权终止IPC(主分类):G03F 7/00申请日:19930507授权公告日:20020911终止日期:20110507
2002-12-25  发明专利公报更正更正卷=18号=37页码=274更正项目=发明人误=W·J·内伯 J·K·霍尔茨普费尔正=W·J·内伯 J·K·霍尔茨阿普费尔
2002-12-25  发明专利说明书更正更正卷=18号=37页码=扉页更正项目=发明人误=W·J·内伯 J·K·霍尔茨普费尔正=W·J·内伯 J·K·霍尔茨阿普费尔
2002-09-11  授权
1995-07-19  
1993-12-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种在有机聚合物膜上形成图案的方法,其特征在于,它包括以下步骤: (a)在基片上施加一层包含(a1)有机聚合粘合剂、(a2)烯属不饱和单体和(a3)光引发体系的未形成图案的感光性的第一层; (b)在感光性的第一层上施加形成图案的第二层,它包含(b1)防止光化射线通过的对射线不透明材料和(b2)能改变感光材料在预定的冲洗液中的分散能力的扩散剂; (c)将感光性的第一层暴露于光化射线中,使该感光性的第一层中那些未被形成图案的第二层覆盖的部分发生光固化; (d)使扩散剂按图案扩散到埋于其下的感光性的第一层中;和 (e)用预定的冲洗剂洗涤,除去感光性的第一层中的在该冲洗剂中可分散的部分;步骤(c)是在步骤(d)之前、之后或同时进行的。
公开号  1079827
公开日  1993-12-22
专利代理机构  上海专利事务所
代理人  张恒康
颁证日  
优先权  1992.5.7 US 07/880,090
国际申请  
国际公布  
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