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扩散隐埋极板沟槽DRAM单元阵列
无权-未缴年费

DIFFUSED BURIED PLATE TRENCH DRAM CELL ARRAY

申请号:93100210.9 申请日:1993-01-07
摘要:公开一种高密集度的衬底沟槽DRAM单元存储器件及其工艺,毗邻沟槽电容器形成一隐埋区,以使DRAM转移FET的衬底能与半导体衬底上的其它FET电绝缘。隐埋区的一部分是由深沟槽的侧壁的侧向外扩散形成,另一部分是由完全环绕DRAM阵列的N阱表面扩散形成的。
Abstract:
申请人: 国际商业机器公司
Applicant: INT BURINERS MACHINES CORP[US]
地址: 美国纽约
发明(设计)人: 多纳德·迈卡尔班·凯尼
Inventor: KENNEY DONALD MCALPINE[US]
主分类号: H01L27/108
分类号: H01L27/108 H01L21/82
  • 法律状态
2009-03-11  专利权的终止(未缴年费专利权终止)授权公告日:2000.7.5
2000-07-05  授权
1993-09-15  公开
1993-09-08  
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种动态随机存取存储器件,其特征在于: 一个具有第一种导电类型的第一区域的半导体衬底; 至少一个动态存储单元阵列,每个单元包括一个与存储电容器耦连的存取晶体管,每个存储单元的晶体管形成在所说的半导体衬底的第二区域内,每个存取晶体管具有一控制电极,一数据线接触区,一存储节点区和一沟道区; 形成于所说的衬底的多个沟槽内的多个信号存储电容器,每个电容器包括一个信号存储节点和一个由介质绝缘体分开的基准电压节点,该基准节点同所说的衬底相连接,每个电容器的存储节点同所说的存取晶体管之一相对应的存储节点区相连接。 将所说的一个阵列内的存取晶体管的全部沟道区域同所说的衬底的第一区域在结构和在电学上隔离的装置,所说的隔离装置包括一个其导电类型同所说的第一区域相反的第三衬底区,所说的第三区域横向形成于所说的第一区域和第二区域之间,所说的第三区域贯穿所有的所述沟槽;所说的第三区域包括一个毗邻所说的沟槽的第一子区,所说的沟槽的杂质掺杂浓度在所说的沟槽整个深度上基本是一常数,所说的第三区域包括一个基本上环绕所说的阵列延展并在所说的第一子区和所说的半导体衬底的表面之间延展的第二子区;以及 使所说的衬底的第一、第二和第三区域偏置在第一、第二和第三不同的基准电压的装置。
公开号  1076310A
公开日  1993-09-15
专利代理机构  中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人  付康
颁证日  
优先权  92.1.9 US 07/819,148
 
国别 优先权号 优先权日 类型
US  07/819,148  19920109 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
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X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
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R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
US5264716AUS5348905AEP0550870A1
JPH05283640AJPH0658948B2KR930017184A
KR970004951B1CN1054238CCN1117397C
CN1262526ASG44361A1TW222716B
 
引用文献
US4688063AUS4728623AUS4794434A
US4801988AUS4829017AUS4873205A
US4873560AUS4912054AUS4918502A
US4922313AUS4927779AUS4944682A
US4988637AUS5141886AEP0224213A2
EP0283964A2EP0298421A2EP0384396A2
JP01119057AJP02028367AJP02062070A
JP02135776AJPH01119057AJPH02135776A
JPH0228367AJPH0262070AGB2199695A
GB2215913A
 
被引用文献
US2002123184A1US2004018695A1US2004048483A1
US2004056299A1US2004061148A1US2004104407A1
US2004207006A1US2004224452A1US2005095787A1
US2008057729A1US2008310207A1US2008310220A1
US5384474AUS5508541AUS5521115A
US5521118AUS5539229AUS5576566A
US5595925AUS5598367AUS5610421A
US5627092AUS5691549AUS5702969A
US5731941AUS5736760AUS5770484A
US5793075AUS5804851AUS5885863A
US5894145AUS5908310AUS5909044A
US5923971AUS5959324AUS6022781A
US6034877AUS6037620AUS6051866A
US6090660AUS6107135AUS6121651A
US6133597AUS6177299B1US6180972B1
US6190955B1US6190959B1US6190971B1
US6191442B1US6204112B1US6252267B1
US6265278B1US6294823B1US6323082B1
US6355954B1US6399978B2US6406953B1
US6512275B1US6515319B2US6538294B1
US6661042B2US6686624B2US6713341B2
US6716696B2US6727150B2US6777280B2
US6846746B2US6867089B2US6891216B1
US6913964B2US6964895B2US6979861B2
US7005338B2US7057231B2US7153781B2
US7511339B2US7696571B2US7736978B2
US7755926B2US7772100B2US8008160B2
US8044463B2US8476133B2US8637365B2
US8642456B2US8754461B2US9640423B2
US9938275B2WO0075977A1WO2006100640A1
EP0782186A2EP0883168A3KR100780140B1
CN101661961ACN105609503ACN1307722C
CN1314097C