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弧源-多离子束材料表面改性技术
无权-视为撤回

申请号:92100416.8 申请日:1992-01-21
摘要:弧源-多离子束材料表面改性技术是在具有离子束注入源、离子束溅射源、弧源及工件负高压电源等装置中实现的。处理工件表面改性层有较宽过渡层,附着性好,沉积速率高;在工件表面可形成单层或多层氮化物、碳化物、氮-碳化物等改性层;一机可以完成离子镀、离子束混合、离子注入。可用于各类刀具、模具、轴承、牙轮钻、手表、灯具等零件;本技术无公害,有广泛应用前景。
申请人: 大连理工大学
地址: 116024辽宁省大连市凌水河
发明(设计)人: 陈宝清
主分类号: C23C14/22
分类号: C23C14/22 H01J37/00
  • 法律状态
1995-07-19  
1993-07-28  公开
1992-11-04  
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种弧源一多离子束材料表面改性技术是在由真空室(1)、弧源(2)、离子束注入源(9)、离子束溅射源(6)、工作台(3)、工件负高压电源(4)、靶台(8)等组成的设备装置中实现的,其技术主要特征是: 以弧源(2)、离子束注入源(9)、离子束溅射源(6)、工件负高压电源(4)作为弧源一多离子束材料表面改性技术系统的供电装置,产生金属原子束及气体离子束;工件(5)加上负高压电场吸引气体离子束。
公开号  1074715A
公开日  1993-07-28
专利代理机构  大连理工大学专利事务所
代理人  侯明远
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期