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能在半水溶液中显影的光反应性树脂组合物
无权-视为撤回

申请号:90108684.3 申请日:1990-09-22
摘要:本发明是涉及光敏聚合物的组合物,这种组合物可以用碱性水溶液显影液显影。光敏聚合物的组合物可用于在电子元件上形成凸纹结构。
申请人: 纳幕尔杜邦公司
地址: 美国特拉华州
发明(设计)人: 阿伦·E·纳德 迈克尔·T·波廷杰
主分类号: G03F7/027
分类号: G03F7/027
  • 法律状态
1995-12-20  
1992-11-11  
1991-04-24  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种能在含有至少约1%(重量)水的显影熔液中显影的光照可聚合组合物包括: (a)约5-75%重量的(相对于组合物重量)部分酯化的芳香族聚酰胺酸树脂,其中酯基含有光反应性组分, (b)约95-25%重量的(相对于组合物重量)能溶解该组合物的溶剂或溶剂混合物, (c)0.01-20%相对于树脂重量的光聚合引发剂或光聚合引发剂的混和物, (d)增粘剂; 条件是该组合物不只包括(a)苯酮四羰基二酸酐与羟乙基甲基丙烯酸酯酯化并与4,4′-氧联苯胺和1,3-苯二胺反应所得聚合物的聚酰胺酸性树脂,(b)4-丁内酯/丙酮,(c)双(2-O-氯苯-4,5-二苯基)咪唑和(d)N-(3-(三乙氧甲硅)丙基)丁烯二酰胺酸。
公开号  1050935
公开日  1991-04-24
专利代理机构  中国专利代理有限公司
代理人  黄家伟
颁证日  
优先权  1989.9.22 US 409,282
国际申请  
国际公布  
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