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高分辨率激光衍射测量仪
无权-未缴年费

申请号:90103592.0 申请日:1990-05-22
摘要:本发明是关于激光衍射精密尺寸的测量仪器。在这种仪器的远场衍射光路中,安装了光学空间滤波器,远场衍射光通过滤波器后被送入激光信号分析仪,分析仪中包括低噪声微分、非线性补偿和计数译码等电路。由于仪器中应用了这些部件,使仪器的绝对分辨率达到了0.0018微米,可对被测工件按尺寸顺序自动分类,并给出相应的分类信号,此外仪器的测量精度不受激光功率波动等干扰的影响,可解决生产线上精密工件的测量和分选。
申请人: 天津港湾工程研究所
地址: 300222天津市河西区大沽南路1474号
发明(设计)人: 李明 张学山
主分类号: G01B11/02
分类号: G01B11/02
  • 法律状态
1995-07-19  
1992-11-18  授权
1992-04-01  审定
1991-01-02  公开
1990-12-19  
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种高分辨率激光衍射测量仪器。仪器中激光器(1)发出的激光由分光板及全反射棱镜构成的分光器(2)分成强度相等的两束光,其特征是这两束光分别通过由电致伸缩陶瓷微位移器(3)、(4)驱动的刀口平尺(5)、(6)与待测工件两边缘组成的两道狭缝,从而形成两束远场衍射光。在与这两道狭缝距离为L和平面上分别放有两个光学空间滤波器(7)、(8),两束远场衍射光通过这两个滤波器后,分别由探测器(9)、(10)接收,并分别通过激光信号分析仪(11)的通道A和通道B送入该分析仪,实现对工件进行测量和按尺寸分类的功能。
公开号  1048263
公开日  1991-01-02
专利代理机构  交通部专利服务中心
代理人  刘静香 饶黄裳
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期