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非接触式激光干涉比较仪
无权-未缴年费

NON-CONTACT TYPE LASER COMPARING INTERFEROMETER

申请号:89202126.8 申请日:1989-03-03
摘要:一种非接触激光干涉比较仪,采用临界角法非接触光触针定位,和迈克尔逊干涉测量系统及光电转换数字显示系统,在测量时测头不接触工件表面,对高精度或非金属材料表面进行比较测量时,不会损坏被测表面,同时测量结果可自动显示,测量精度高、操作方便。
Abstract: The utility model relates to a non-contact type laser comparing interferometer which adopts a critical angle method non-contact light contact pin to be positioned and is provided with a Michelson interferometer measuring system and a photoelectric conversion numeric display system. When the non-contact type laser comparing interferometer is used for measuring, a measuring head does not contact a workpiece surface. When the non-contact type laser comparing interferometer is used for measuring the surface with high precision or the surface of non-metallic material comparatively, the surface measured can not be damaged. Simultaneously the result of measurement can be automatically displayed. The utility model has the advantages of high measuring precision and convenient operation.
申请人: 清华大学
Applicant: UNIV QINGHUA[CN]
地址: 北京市海淀区清华园
发明(设计)人: 刘兴占
Inventor: XINGZHAN LIU[CN]
主分类号: G01B9/02
分类号: G01B9/02 G01B11/02
  • 法律状态
1992-06-24  
1990-05-23  授权
1989-10-11  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种非接触式激光干涉比较仪,其特征是采用临界角法非接触光触针定位和迈克尔逊干涉系统定位及光电转换数字显示系统组成,其具体结构是在仪器底座(28)上固定升降丝杠(29)及工作平台(30),在上述升降丝杠(29)上安有螺母(31),螺母(31)与支承板(33)刚性相连,支承板(33)上部用支架(39)安装激光管(40),激光管光路下方安装有透镜(42)、(43),在支承板(33)中部安装有反射镜(44),分光镜(45)、(46)、(47),光电元件A、B构成一光路系统,在支承板(33)下部安装有小丝杠(36),在上述小丝杠(36)上部装有螺母(35),螺母(35)用螺钉与滑动板(34)相连,小丝杠(36)上部有伞齿轮付(38),该伞齿轮付(38)由手柄(37)驱动,滑动板(34)上装有棱镜调节架(48),在上述棱镜调节架(48)上装有三角棱镜(49),在该棱镜调节架(48)前方(左方)装有1/2λ波片(50),在该1/2λ波片(50)左方装有胶合在一起的偏振棱镜(53)、棱镜(54)、斜棱镜(55),在偏振棱镜(53)下方装有1/4λ波片(51)及物镜(52),在棱镜(54)上方装有临界角棱镜(57)及动反射镜(58),光电元件D、E,在棱镜(54)右方装有临界角棱镜(57)及光电元件F、G,上述光学元件及光电元件与激光管(40)构成一光路系统。
公开号  2045841U
公开日  1989-10-11
专利代理机构  清华大学专利事务所
代理人  章瑞溥
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
 
引用文献
 
被引用文献
CN104033710A