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利用分别生成的多种活性气体制备大面积沉积膜的装置
无权-未缴年费

申请号:89104798.0 申请日:1989-07-14
摘要:制备多组分大面积沉积膜的装置,在各自的激活室中分别激活两种或多种膜原料气体,激活气体通过各自的气体引入口分别引入到成膜室混合,在成膜室中的基片表面附近发生反应,从而在基片上形所述沉积膜,气体引入口是长方形或椭圆形,平行放置,其长轴至少是短轴的两倍,间距小于短轴,激活室中有杆状微波发射天线,或有催化作用的金属材料做成的丝,或产生射频电场的一对板状电极作为产生分解能的装置。
申请人: 佳能株式会社
地址: 日本东京
发明(设计)人: 松山深照
主分类号: C23C16/48
分类号: C23C16/48
  • 法律状态
2005-09-14  
2002-04-24  
1993-12-22  授权
1991-10-23  
1990-02-28  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种在基片上形成由多种组分构成的功能沉积膜的装置,包括多个激活室和一个成膜室,所述多个激活室的每一个都有供给成膜原料气体的设备和把分解能量作用于所述成膜原料气体以分解所述成膜原料气体形成离子态的激活成膜气体,每一所述多个激活室有把所述激活成膜气体提供给所述成膜室的设备,提供所述激活成膜气体的所述设备在沉积膜于其上形成并置于基片支持器上的基片的表面附近有气体引入开口,所述基片支持器有加热装在所述成膜室中的所述基片的设备,所述成膜室有抽空所述成膜室的设备, 其特征在于所述多个激活室在所述成膜室之内,每一所述激活室有棒状微波发射天线,使成膜原料气体在通过所述棒状天线发射的微波的作用下在所述棒状天线周围激活进入等离子态,得到的等离子态的激活成膜气体在垂直于所述棒状天线的较长轴方向输运,每一所述气体引入口为长方或椭园形,其较长轴的长度至少是其较短轴长度的两倍,所述气体引入口互相平行放置,其间距小于较短轴的长度。
公开号  1040063A
公开日  1990-02-28
专利代理机构  中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人  刘建国
颁证日  
优先权  1988.7.14 JP 173758/88;1988.7.14 JP 173759/88;1988.7.14 JP 173760/88
国际申请  
国际公布  
进入国家日期