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上下探针测试装置
无权-届满

申请号:88215003.0 申请日:1988-10-12
摘要:一种上下探针测试装置,主要用于半导体陶瓷材料的电阻率(或总电阻)的测量,采用下探针为电流探针、上探针为电压探针的四探针接触模式,探针材料为金属钛且针尖扁平,能与半导体陶瓷表面形成良好的低阻接触。利用此装置能直接测量半导体陶瓷材料的电阻率而无需预制电极,测量简便、快速、可靠,测试结果直接数字显示,可广泛应用于半导体陶瓷材料生产的中间成品或成品的检测。
申请人: 广州半导体材料研究所
地址: 广东省广州市沙河东莞庄
发明(设计)人: 张郁华
主分类号: G01R27/02
分类号: G01R27/02 H01L21/66
  • 法律状态
1994-03-02  
1990-06-06  授权
1989-10-04  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种测量半导体陶瓷材料的上下探针测试装置,其特征是下探针为电流探针,上探针为电压探针,探针材料为钛或铝硅合金。
公开号  2045497U
公开日  1989-10-04
专利代理机构  广东专利事务所
代理人  李志明
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期