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阴极电弧源离子渗金属技术及设备
无权-未缴年费

申请号:88100549 申请日:1988-02-11
摘要:本发明是一种利用低气压弧光等离子体对金属 工件渗入特定元素,以优化工件表面性能的技术和设 备。它采用阴极电弧蒸发器作为离子渗金属时的蒸 发源、离化源和加热源,产生高密度的金属离子流,同 时对工件施加高负偏压,以吸引金属离子流加速到达 工件,将工件加热至高温,离子渗入其表面。如可获 得钨、钼、镍、铬、钛、铝、锆、钽、铌等金属渗层以及它 们与碳、氮、氧的化合物渗镀层,提高渗金属效率和质 量。
申请人: 北京联合大学机械工程学院机电技术开发服务公司
地址: 北京市朝阳区白家庄西里
发明(设计)人: 王福贞 周友苏 刘文郁
主分类号: C23C10/00
分类号: C23C10/00 C23C14/32
  • 法律状态
1997-04-02  
1992-07-08  授权
1991-12-04  审定
1988-08-03  
1988-08-03  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、在真空高温状态下对工件(10)进行等离子体渗金属的技术和设备: ①其技术特征是采用阴极电弧蒸发器(14)作离子渗金属时的蒸发源、离化源和加热源,利用低气压弧光放电产生高密度金属离子流,同时对工件(10)提高负偏压,提高金属离子到达工件(10)的能量,以此对被处理工件(10)表面形成渗层的技术; ②其设备特征是装有一个或多个阴极电弧蒸发器(14),并配置适量的支架(1)、机械泵(2)、扩散泵(3)、底盘(4)、真空室(5)、观察窗(6)、负偏压电源(7)、阴极夹具(8)、绝缘密封件(9)(13)、进气装置(11)、源极靶材(12)、弧源电源(15)、引弧电极(16)等装置的组合形成的设备。
公开号  88100549A
公开日  1988-08-03
专利代理机构  铁道部科技情报所铁路专利咨询服务中心
代理人  罗迎难
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期