搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

用于等离子处理的共用电流回路并联场装置和工艺
无权-未缴年费
著录变更

申请号:87106755 申请日:1987-10-06
摘要:一个为磁控管气体放电的共用电流回路的,并联电场的装置和工艺。该装置包括一个含有气体组分的易于抽气的室。一个与电流回路相联的多部位阴极产生并联的独立的电场。阴极包括一用于产生第一电场的第一阴极部分,该第一电场形成包括离子的气体放电。第二阴极部分产生第二的独立的电场。第二独立电场从气体放电中取出离子,也可控制取出离子的能量,使其与要处理的物件碰撞。每个阴极部分是相互电绝缘并可接通到分离的电源上。
申请人: 北卡罗来纳州微电子中心
地址: 美国北卡罗来纳州
发明(设计)人: 史蒂芬·迈克尔·罗比奥 于赫·希·霍
主分类号: H01K21/306
分类号: H01K21/306 B44C1/22
  • 法律状态
1995-11-22  
1991-11-13  授权
1991-03-27  <变更项目>申请人<变更前>北卡罗来纳州微电子中心<变更后>北卡罗来纳州微电子中心(MCNC)
1991-03-06  审定
1989-12-27  
1988-06-15  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一磁控管气体放电装置包括: 用于在其中包含有气体组分的易于抽气的室; 用于在易于抽气的室中产生磁场的装置; 多部位阴极装置,用于在上述室中形成至少一个无穷的电子电流回路,上述多部位阴极装置是设置于室内,并包括: 第一极极部分装置,是用于形成包括离子的等离子气体放电,并产生第一电场,它与磁场相互作用以产生无穷的电子电流回路,第一阴极部分装置是与第一电源接通的,和 第二阴极部分装置,与同样的电子电流回路相联,用于产生第二独立电场,与气体放电相互作用并从气体放电取出离子而与被进行处理的物件相碰撞,第二阴极部分装置与第二电源相接通。
公开号  87106755A
公开日  1988-06-15
专利代理机构  中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人  赵越
颁证日  
优先权  1986.10.6 US 916,007
国际申请  
国际公布  
进入国家日期