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印刷线路板的图案抗蚀法
无权-未缴年费

申请号:87100339 申请日:1987-01-19
摘要:一种在印刷线路板上绘制光抗蚀层或绝缘层图案的方法,所利用的两种光敏反应涂层由一光可处理的紫外光敏感层上覆一薄的未曝光未显影的带基银胶片组成。一台最好带八角形孔径的白光X-Y绘图仪直接由CAD系统驱动,使板上的胶片以所需图案曝光而不影响下伏的紫外光敏感层,再将板上的胶片显影,并在紫外光泛光灯曝光板时作为下伏紫外光层在该处的掩模。紫外光曝光后剥去胶片,用常规法处理有选择的聚合层。
申请人: 福克斯保罗公司
地址: 美国马萨诸塞州
发明(设计)人: 哈罗德·莱克 保罗·E·格兰蒙特
主分类号: H05K3/06
分类号: H05K3/06
  • 法律状态
2001-03-14  
1993-08-18  授权
1990-05-30  
1988-08-03  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种在印刷线路板基板上的光可处理层制作图案的方法,其特征包括: 准备一块基板,其上层的光可处理材料对投射的第一光谱能量敏感, 将一层对投射到基板的第二光谱能量敏感的未曝光、未显影的照相成像胶片涂敷在光可处理层上, 用一个自动光绘图仪发射的一束包括所说第二光谱但基本上排斥所说第一光谱的光束有选择地将基板上的所说胶片曝光,使胶片受到激发而不影响下伏的光可处理材料层, 将基板上的胶片显影, 通过在所说胶片层显影出的图像作为在该处的掩模,使光可处理层在基板上基本均匀地分布的所说第一光谱中的能量下曝光, 除去所说胶片层,以及 处理所说光可处理层, 从而可用低能量绘制创造出高分辨率的可检查在板掩模。
公开号  87100339A
公开日  1988-08-03
专利代理机构  中国专利代理有限公司
代理人  肖掬昌
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期