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带电粒子束曝光
无权-视为撤回

申请号:86105432 申请日:1986-08-26
摘要:在曝光系统中应用一种细长的带电粒子的源 (20),以产生多个以线性阵列排列的聚焦电子(或离 子)。使多束带电粒子作跨过工件(10)的扫描 (18),以及利用可选择地对所述粒子束的个别粒子 束的消隐的方法,就能在工件上产生图形。
申请人: 美国电话电报公司
地址: 美国纽约州10022
发明(设计)人: 马丁·弗尔德曼 马丁·保罗·利普塞尔特
主分类号: H01J37/00
分类号: H01J37/00 G03F7/20
  • 法律状态
1993-01-20  
1988-03-02  
1987-05-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、适用于有选择性地使工件表面曝光的带电粒子束曝光设备,所述设备 其特征在于 细长装置(24),它响应带电粒子,用于产生射向所述工件表面上的多个平行带电粒子束(32), 细长的带电粒子源(20),它与第一所述装置延伸至同一限度,使那里的粒子射到阵列上。
公开号  86105432A
公开日  1987-05-27
专利代理机构  中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人  邓明
颁证日  
优先权  1985.9.27 US 781,403
国际申请  
国际公布  
进入国家日期