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低温等离子体的化学检测方法
无权-视为放弃

申请号:86101111 申请日:1986-02-24
摘要:等离子体空间分布的检测方法。借助二苯基苦基酰肼与自由基的定量反应测定出在放电反应管内特定部位上被低温等离子体照射过的固体样品的表面过氧化基量,由此推断等离子体空间分布的均匀度。此法首次提出了利用化学反应进行等离子体诊断的方法,同传统的物理法诊断技术相比,简便、实用,可以将检测数据与等离子体化学反应的最终结果建立联系。
申请人: 北京化学纤维研究所
地址: 北京市东城区朝阳门内大街75号
发明(设计)人: 朴东旭 咸文淑 刘静 陈雪芹 胡元洁 黄玉丽
主分类号: G01N31/00
分类号: G01N31/00 G01N35/00
  • 法律状态
1992-02-05  
1990-10-10  审定
1989-06-14  
1986-09-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种等离子体空间分布的检测方法,其特征是,将固体样品以特定方式放在放电反应器的空间之中,进行放电,使固体样品受到等离子体的作用,然后借助化学定量反应测定固体样品表面的化学基团。
公开号  86101111
公开日  1986-09-10
专利代理机构  
代理人  
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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