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多工作模式的液态金属聚焦离子枪
无权-届满

LIQUID METAL FOCUSING ION-GUN WITH MULTI-OPERATING MODES

申请号:85202460 申请日:1985-06-26
摘要:多工作模式的液态金属聚焦离子枪是适用科研用途的微细加工和分析之工具。其特点在于①采用固定电极,②阳极针可作大幅度滑动,③配以不同的电极接线位置,从而构成多种工作模式。其中有将阳极针伸出第一电极,以第一电极为栅极,第二电极为引出极,构成栅控工作模式;此外还可构成离子源方式、简单聚焦离子枪方式、能量调节方式等。采用可多装料的钽制同轴针外套。并且可从尾部任意换用同轴针型阳极或毛细管型阳极。
Abstract: The utility model relates to a liquid metal focusing ion-gun with multi-operating modes, which is a tool suitable for the fine processing and analyzing of the scientific research purpose. The liquid metal focusing ion-gun with multi-operating modes is characterized in that the liquid metal focusing ion-gun with multi-operating modes adopts fixed electrodes; the anode needle can greatly slip; the liquid metal focusing ion-gun with multi-operating modes is matched with different electrode wiring positions, and consequently multi-operating modes are formed, wherein, the anode needle is extended the first electrode, the first electrode is used as the grid electrode, the second electrode is used as the leading-out electrode, and the grid-controlled operating mode is formed. In addition, the liquid metal focusing ion-gun with multi-operating modes can also form the ion source mode, the simple focusing ion-gun mode, the energy regulating mode, etc. the liquid metal focusing ion-gun with multi-operating modes adopts the tantalum made coaxial needle overcoat, and can arbitrarily exchange the coaxial needle type anode or the capillary type anode.
申请人: 北京师范大学 电子工业部北京第12研究所
Applicant:
地址: 北京市新街口外大街********(隐藏)
发明(设计)人: 华明达 周风声 王亦曼 张贻英
Inventor:
主分类号: H01J37/08
分类号: H01J37/08
  • 法律状态
1986-10-29  授权
1986-04-16  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种以改变阳极针〔1〕与引出电极〔3〕和〔5〕的相对位置而 决定工作模式的液态金属聚焦离子枪,其特征是,电极〔3〕和〔5〕是 固定的,阳极针〔1〕连接到滑杆〔10〕上,而滑杆〔10〕又在支座〔9〕 中沿Z轴可作大幅度滑动。
公开号  85202460U
公开日  1986-04-16
专利代理机构  北京师范大学专利事务所
代理人  吴圣谷 邢同琪
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  85202460  19850626 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
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X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
 
引用文献
 
被引用文献
CN104091741ACN104882351A