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在硅膜中心部位设置四端单元件的力敏器件
无权-终止
著录变更

申请号:85201923 申请日:1985-05-22
摘要:在硅膜中心部位设置四端单元件力敏器件是 利用某些特定形状的硅膜的中心部分的应力变化 缓慢的特点进行设计的。此设计可减少器件对工 艺中定位偏差的敏感性,特别是提高了在小型化 硅膜上制作器件的现实性。
申请人: 复旦大学
地址: 上海市邯郸路220号
发明(设计)人: 鲍敏杭
主分类号: H01L29/00
分类号: H01L29/00
  • 法律状态
1990-09-12  
1987-06-24  <变更前>设计人 鲍敏杭<变更后>鲍敏杭 王言
1986-10-15  授权
1986-03-19  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种在硅膜上设置四端单元件的力敏器件,其特征在于上述的 四端单元件(四端力敏元件)设置在硅膜的中心部位。
公开号  85201923U
公开日  1986-03-19
专利代理机构  复旦大学专利事务所
代理人  滕怀流 陆飞
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期