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四探针头
无权-届满

申请号:85201272 申请日:1985-04-22
摘要:一种供半导体材料测量电阻率用的精密四探针头,采用简易的定位锥头并在每根探针导孔上浇注二粒专用红宝石轴套的定位机构,并辅以上下模精密固定探针的浇注方法,使探针的游移误差达到≤±0.5%的高精密要求.采用铍青铜的平面弹簧片和螺旋弹簧圈作为探针弹性元件,可保持与探针有三点弹性接触的良好电接触和弹性恒压,易于更换探针,采用此结构的探针头其制作容易,定位精确,产品一致性好,成本降低15倍,针头质量满足测量要求
申请人: 广州半导体材料研究所
地址: 广东省广州市沙河东莞庄
发明(设计)人: 曾南珍 伍乃文 阎雅新 王世进
主分类号: G01R27/14
分类号: G01R27/14
  • 法律状态
1991-12-25  
1986-09-03  授权
1986-02-19  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种测量半导体材料电阻率的四探针头,其特征是采用定位锥头并在每根探针导孔上浇注二粒专用红宝石轴套的定位机构。同时采用平面弹簧片和螺旋圈作探针的弹性元件。
公开号  85201272
公开日  1986-02-19
专利代理机构  广东专利事务所
代理人  李志明
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期