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真空远红外充氮亚胺化装置
无权-届满

FAR-INFRARED NITROGEN-FILLING VACUUM DEVICE FOR IMINATION

申请号:85200146 申请日:1985-04-01
摘要:本实用新型属于半导体器件和集成电路表面 有机钝化用新设备。其特征在于选用了波长为2~ 15μm范围的远红外线辐射源,并用真空减压、 连续充氮气的方法,使得整个恒温亚胺化过程,始 终产生断续变化的远红外线辐照,达到阶梯升温、 恒温、迅速排除反应生成聚缩水的要求,同时也 有效地防止了硅片上铝层的氧化。本装置除在半导体器件及集成电路中作钝化 层和内涂层的加工外,还能用于多层布线介质层 的加工和其它需要制取高质量聚酰亚胺膜的地方。
Abstract: The utility model belongs to a new device for the organic passivation of the semi-conductor device and the integrated circuit surface. The utility model is characterized in that the utility model selects a far infrared radiation source of the wave length with 2-15 mu m ranges, and the methods of the vacuum pressure reducing and the continuous nitrogen filling are used. The entire constant temperature imination process generates the far infrared irradiation with interruption variation all along. The requirements that the step ladder elevation of the temperature, the constant temperature, the gather shrinkage water generated by a reaction is quickly excluded are achieved. Simultaneously the oxidation of the aluminum layer on a silicon wafer is also prevented effectively. The device is used as a passivating layer and the processing of the internal coating layer in the semi-conductor device and the integrated circuit, the device can be also used for the processing of the multilayer wiring dielectric layer and the other places which are required to make the polyimide film with high quality.
申请人: 南京工学院
Applicant:
地址: 江苏省南京市四牌楼********(隐藏)
发明(设计)人: 廖萃荃
Inventor:
主分类号: H01L21/312
分类号: H01L21/312 H01L21/47
  • 法律状态
1986-07-30  授权
1986-01-15  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种真空远红外线充氮亚胺化装置由真空远红外炉 〔17〕,程序加热温度补偿控制仪〔18〕,半导体精密控温仪 〔16〕、机械真空泵〔19〕构成,其特征在于所述的远红外炉采 用两块对置的远红外辐射板〔2〕和氮气喷嘴管〔14〕。
公开号  85200146U
公开日  1986-01-15
专利代理机构  南京工学院专利事务所
代理人  姚建楠
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  85200146  19850401 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
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Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
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R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
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E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
 
引用文献
 
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