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扫描式投影光刻机物镜
无权-未缴年费

申请号:85104369 申请日:1985-06-08
摘要:一种用于扫描式投影光刻机的物镜,由球面全 反射镜、球面副反射镜和一球壳形校正透镜组成。该 物镜的环带视场狭缝达10mm,适用于 3600~4400,还可在2000波段使用。
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
地址: 上海8211信箱
发明(设计)人: 王之江
主分类号: G02B9/12
分类号: G02B9/12 G02B1/02 G03F7/207
  • 法律状态
1994-07-13  
1994-06-29  
1989-03-08  授权
1988-06-29  审定
1987-06-24  
1986-12-03  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种用于扫描式投影光刻机的物镜,含有球面主反射镜(1)、球面付反射镜(2)、校正透镜(3),其特征在于所说的校正透镜为一球壳形透镜,所说的球面主反射镜、球面付反射镜与球壳形透镜满足下列关系: r2=(0.44~0.53)r1 r3=(0.26~0.39)r1 s=(0.02~0.03)r1 d1=(0.5~0.54)r1 d2=(0.6~0.7)r1 其中r1、r2分别为球面主反射镜和球面付反射镜的曲率半径,r3和S分别为球壳校正透镜的曲率半径和厚度,d1为球面主反射镜到球面付反射镜之间的距离,d2为球面主反射镜到球壳校正透镜的距离。
公开号  85104369A
公开日  1986-12-03
专利代理机构  中国科学院上海专利事务所
代理人  张泽纯
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期