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涡轮分子泵
无权-届满

申请号:85101627 申请日:1985-04-01
摘要:转子转动进行抽气的涡轮分子泵,有一组由互相 交替排列的转子组成的叶片和定子叶片,在所述的 排气口侧或中间部分的叶片组中有压缩比增大的部 位。压缩比增大部位有一个转子,其叶片厚度大于更 接近吸气口侧的转子。这种涡轮分子泵有低真空度 阶段的优良的抽气效率。
申请人: 株式会社岛津制作所
地址: 日本京都市中京区西********(隐藏)
发明(设计)人: 成田清 川口寿一
主分类号: F04D19/04
分类号: F04D19/04
  • 法律状态
2000-11-22  
1990-10-03  授权
1990-01-17  审定
1988-07-13  
1987-03-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、转子转动进行抽气的涡轮分子泵,其特征是,该泵有一组由互相交替排列的转子和定子叶片组成的叶片组,在所述的叶片组中有压缩比增大的部位位于排气口侧的一分部,所述的压缩比增大部位至少有一个转子,其厚度大于比其更接近于吸气口侧的至少是一个的转子的厚度。
公开号  85101627A
公开日  1987-03-25
专利代理机构  中国专利代理有限公司
代理人  曹永来
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期