CN201911148319
CN111017868A
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摘要：本发明公开了一种阵列结构硅基点阵的制备方法及其应用，所述制备方法包括：在一硅片表面旋涂光刻胶；采用光刻方法在所述硅片表面形成特定尺寸的点样区；采用溶液法在含点样区的所述硅片表面自组装微纳米球；对沉积了微纳米球的所述硅片进行刻蚀，使所述点样区形成微纳米结构阵列；去除所述硅片表面的所述光刻胶；且去除所述硅片表面的所述微纳米球。本发明阵列结构硅基点阵的制备方法所制得的硅基点阵在质谱检测、拉曼检测、生物传感器或者光电探测器中的应用。本发明的硅基点阵在物理、化学、能源、催化、生命科学及信息等领域具有潜在的应用前景。 |
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| Abstract： The invention discloses a preparation method and application of an array structure silicon-based dot matrix. The preparation method comprises the steps of spin-coating photoresist on the surface of asilicon wafer; forming a sample application region with a specific size on the surface of the silicon wafer by adopting a photoetching method; self-assembling micro-nano spheres on the surface of thesilicon wafer containing the sample application region by adopting a solution method; etching the silicon wafer on which the micro-nano spheres are deposited, so that a micro-nano structure array is formed in the sample application region; removing the photoresist on the surface of the silicon wafer; and removing the micro-nano spheres on the surface of the silicon wafer. The silicon-based dot matrix prepared by the preparation method of the silicon-based dot matrix with the array structure is applied to mass spectrum detection, Raman detection, biosensors or photoelectric detectors. The silicon-based dot matrix has potential application prospects in the fields of physics, chemistry, energy, catalysis, life science, information and the like. | |
| 申请人： 厦门大学 | |
| Applicant： UNIV XIAMEN | |
| 地址： 361000 福建省厦门市思明南********(隐藏) | |
| 发明(设计)人： 李静 钟昌祥 尹君 林水潮 郑南峰 | |
| Inventor： LI JING; ZHONG CHANGXIANG; YIN JUN; LIN SHUICHAO; ZHENG NANFENG | |
| 主分类号： B81B7/04 | |
| 分类号： B81B7/04 B81C1/00 | |
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| 2023-08-22 | 授权 |
| 2020-05-12 | 实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/04申请日:20191121 |
| 2020-04-17 | 公开 |
| 主权项 | 1.一种阵列结构硅基点阵的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：/n在一硅片表面旋涂光刻胶；/n采用光刻方法在所述硅片表面形成特定尺寸的点样区；/n采用溶液法在含点样区的所述硅片表面自组装微纳米球；/n对沉积了微纳米球的所述硅片进行刻蚀，使所述点样区形成微纳米结构阵列；/n去除所述硅片表面的所述光刻胶；且去除所述硅片表面的所述微纳米球。/n | ||||||||||||||||||
| 公开号 | 111017868A | ||||||||||||||||||
| 公开日 | 2020-04-17 | ||||||||||||||||||
| 专利代理机构 | 32256 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | ||||||||||||||||||
| 代理人 | 王茹 | ||||||||||||||||||
| 颁证日 | |||||||||||||||||||
| 优先权 |
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| 国际申请 | |||||||||||||||||||
| 国际公布 | |||||||||||||||||||
| 进入国家日期 | |||||||||||||||||||
| 类型 | 阶段 | 文献号 | 公开日期 | 涉及权利要求项 | 相关页数 |
| A | SEA | CN101275073A | 20081001 | 1-12 | 全文 |
| Y | SEA | CN103213933A | 20130724 | 1-12 | 说明书第29-35段，附图1-2 |
| Y | SEA | CN103257178A | 20130821 | 1-12 | 说明书第16-31段，附图1-7 |
| A | SEA | CN106315505A | 20170111 | 1-12 | 全文 |
| A | SEA | US2017152595A1 | 20170601 | 1-12 | 全文 |
| 类型 | 阶段 | 期刊文摘名称 | 作者 | 标题 | 涉及权利要求项 | 相关页数 |
| 类型 | 阶段 | 书名 | 作者 | 标题 | 涉及权利要求项 | 相关页数 |
