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一种单晶炉提拉头动平衡校验装置
有权

Pull head dynamic balance calibration equipment is carried to single crystal growing furnace

申请号:201820011386.X 申请日:2018-01-04
摘要:本实用新型提供种单晶炉提拉头动平衡校验装置,包括标准平板、放置板、籽晶提拉部固定组件、旋转防倾斜保护组件以及悬浮式支撑组件;籽晶提拉部固定组件设置于放置板上,该籽晶提拉部固定组件包括下连接板、支撑件以及籽晶提拉部放置件;旋转防倾斜保护组件包括三组沿放置板周向均布的防倾斜保护件;悬浮式支撑组件包括一端与标准平板相连接其另一端与所述放置板点接触的缓冲调节件、大小调节件;通过设置籽晶提拉部固定组件对籽晶提拉部进行固定,并配合悬浮式支撑组件的点接触对籽晶提拉部固定组件进行籽晶提拉部转动过程中高精度的动平衡校验,解决了籽晶提拉部会因质量分布不均匀而造成转动的不平稳影响单晶硅的均匀性的技术问题。
Abstract: The utility model provides a pull head dynamic balance calibration equipment is carried to single crystal growing furnace plants, including the standard dull and stereotyped, place the board, the seedcrystal is carried and is drawn the fixed subassembly of portion, rotatory prevent inclining protection group spare and floated support group spare, the seed crystal is carried and is drawn the fixedsubassembly of portion to set up on placing the board, and this seed crystal is carried and is drawn the fixed subassembly of portion to place the piece including descending connecting plate, supportpiece and seed crystal to carry the portion of drawing, the rotatory protection group spare of preventing inclining includes three groups along the protection piece that inclines that prevents who places board circumference equipartition, floated support group spare include one end be connected with standard flat board its other end with place the buffer adjustment spare of board point contact, big or small regulating part, carry and draw the fixed subassembly of portion to carry the portion of drawing to the seed crystal and fix through setting up the seed crystal to the point contact that coordinates floated support group spare is carried the seed crystal and is drawn the fixed subassembly of portion to carry out the seed crystal to propose the dynamic balance check -up that the portionof drawing rotated the in -process high accuracy, has solved the seed crystal and has carried the portion of drawing and understand and steadily do not influence the technical problem of the homogeneity of monocrystalline silicon because of quality nonuniform distribution leads to the fact the pivoted.
申请人: 浙江中晶科技股份有限公司
Applicant: ZHEJIANG MTCN TECH CO LTD
地址: 313100 浙江省湖州市长兴县********(隐藏)
发明(设计)人: 万喜增 胡卫红 杨高林
Inventor: WAN XIZENG; HU WEIHONG; YANG GAOLIN
主分类号: C30B15/32(2006.01)I
分类号: C30B15/32(2006.01)I C30B15/20(2006.01)I C30B29/06(2006.01)I
  • 法律状态
2018-08-28  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种单晶炉提拉头动平衡校验装置,包括标准平板(1)、设置于所述标准平板(1)上方的放置板(2),其特征在于,还包括:籽晶提拉部固定组件(3),所述籽晶提拉部固定组件(3)设置于所述放置板(2)上,该籽晶提拉部固定组件(3)包括固定连接于所述放置板(2)上的下连接板(31)、与所述下连接板(31)相连接的支撑件(32)以及设置于所述支撑件(32)上的籽晶提拉部放置件(33);旋转防倾斜保护组件(4),所述旋转防倾斜保护组件(4)包括三组沿放置板(2)周向均布的防倾斜保护件(41),该防倾斜保护件(41)一端穿设于所述放置板(2)上其另一端与所述标准平板(1)相连接;以及悬浮式支撑组件(5),所述悬浮式支撑组件(5)包括一端与所述标准平板(1)相连接其另一端与所述放置板(2)点接触的缓冲调节件(51)、一端转动设置于所述放置板(2)上且其另一端与所述下连接板(31)接触设置的大小调节件(52)。
公开号  207775387U
公开日  2018-08-28
专利代理机构  北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246
代理人  韩燕燕 连围
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  201820011386  20180104 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
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R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
 
引用文献
 
被引用文献
CN109505009A