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配置辅助阳极的低温沉积设备
审中-实审

申请号:201810647616.6 申请日:2018-06-22
摘要:本发明涉及配置辅助阳极的低温沉积设备,包括真空室和均置于真空室内的柔性基材、放卷辊、第一导辊、水冷鼓、第二导辊、收卷辊、多对磁控靶、多个辅助阳极;柔性基材依次绕过放卷辊、第一导辊、水冷鼓、第二导辊、收卷辊;多对磁控靶沿着水冷鼓圆周表面的圆周方向依次布置,每对磁控靶之间布置一个辅助阳极;第一导辊和第二导辊对称设置在真空室内,放卷辊和收卷辊对称设置在真空室内,水冷鼓设置在真空室的中心。本发明还涉及另外一种配置辅助阳极的低温沉积设备,低温沉积设备可以避免二次电子轰击到基材上,属于基材镀膜的技术领域。
申请人: 广东腾胜真空技术工程有限公司
地址: 526060 广东省肇庆市端州一********(隐藏)
发明(设计)人: 朱刚毅 朱刚劲 朱文廓
主分类号: C23C14/56(2006.01)I
分类号: C23C14/56(2006.01)I C23C14/35(2006.01)I
  • 法律状态
2018-09-21  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20180622
2018-08-28  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.配置辅助阳极的低温沉积设备,其特征在于:包括真空室和均置于真空室内的柔性基材、放卷辊、第一导辊、水冷鼓、第二导辊、收卷辊、多对磁控靶、多个辅助阳极;柔性基材依次绕过放卷辊、第一导辊、水冷鼓、第二导辊、收卷辊;多对磁控靶沿着水冷鼓圆周表面的圆周方向依次布置,每对磁控靶之间布置一个辅助阳极;第一导辊和第二导辊对称设置在真空室内,放卷辊和收卷辊对称设置在真空室内,水冷鼓设置在真空室的中心。
公开号  108456867A
公开日  2018-08-28
专利代理机构  广州市华学知识产权代理有限公司 44245
代理人  官国鹏
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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