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一种三明治结构薄膜及其制备方法与应用
审中-实审

Sandwich-structure thin film, preparation method and application thereof

申请号:201810186204.7 申请日:2018-03-07
摘要:本发明公开一种三明治结构薄膜及其制备方法与应用,其中,所述三明治结构薄膜包括:云母基底、及在所述云母基底上设置的下层氧化物薄膜、夹层金属薄膜、上层氧化物薄膜。本发明所述三明治结构薄膜表面粗糙度低,光电性能优异,作为薄膜加热器使用响应迅速效率高,也可用于其他电子器件的电极,应用前景广阔。
Abstract: The invention discloses a sandwich-structure thin film, a preparation method and application thereof, wherein the sandwich-structure thin film comprises a mica substrate, and a lower-layer oxide thinfilm, an interlayer metal thin film and an upper-layer oxide thin film which are arranged on the mica substrate. The sandwich-structure thin film disclosed by the invention is low in surface roughnessand excellent in photoelectric property, is rapid in response and high in efficiency when being used as a thin-film heater, and also can be used for electrodes of other electronic devices, so that the application prospect is wide.
申请人: 深圳大学
Applicant: UNIV SHENZHEN
地址: 518060 广东省深圳市南山区********(隐藏)
发明(设计)人: 周华 谢静 柯善明
Inventor: ZHOU HUA; XIE JING; KE SHANMING
主分类号: C23C14/08(2006.01)I
分类号: C23C14/08(2006.01)I C23C14/18(2006.01)I C23C14/24(2006.01)I C23C14/28(2006.01)I C23C14/35(2006.01)I C23C14/50(2006.01)I H05B3/34(2006.01)I
  • 法律状态
2018-09-21  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/08申请日:20180307
2018-08-28  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种三明治结构薄膜,其特征在于,包括云母基底、及在所述云母基底上设置的下层氧化物薄膜、夹层金属薄膜、上层氧化物薄膜。
公开号  108456850A
公开日  2018-08-28
专利代理机构  深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268
代理人  王永文 刘文求
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  201810186204  20180307 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
SEA  CN101186128A  20080528  1-10  全文 
SEA  US2010193351A1  20100805  1-10  全文 
SEA  CN106756840A  20170531  7-9  说明书第[0027]-[0035]段 
SEA  WO2016063849A1  20160428  1-10  全文 
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
SEA  《TFC`17全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》  李明亮等  云母基底上AZO/Ag/AZO柔性耐高温透明电极的制备及其性能研究  7-9  第78页 
李明亮等: "云母基底上AZO/Ag/AZO柔性耐高温透明电极的制备及其性能研究", 《TFC`17全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》 
SEA  《TFC`17全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》  李明亮等  云母基底上AZO/Ag/AZO柔性耐高温透明电极的制备及其性能研究  1-6、10   
李明亮等: "云母基底上AZO/Ag/AZO柔性耐高温透明电极的制备及其性能研究", 《TFC`17全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》 
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
 
引用文献
US2010193351A1WO2016063849A1CN101186128A
CN106756840A
 
被引用文献