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压力控制方法
审中-实审

PRESSURE CONTROL METHOD

申请号:201810141848.4 申请日:2018-02-11
摘要:本发明提供一种能够使生产率提高的压力控制方法。一个实施方式的压力控制方法是在一个真空容器内具有被不完全地分隔的多个处理区域的成膜装置中的压力控制方法,所述压力控制方法包括:第一调整步骤:基于按所述多个处理区域的各处理区域而定的目标压力和目标流量、以及表示流量与压力与开度的关系的学习信息来对被设置于所述多个处理区域的各处理区域的排气阀的开度进行调整;以及第二调整步骤,在所述第一调整步骤之后,基于所述多个处理区域中的一个处理区域的压力来对被设置于所述一个处理区域的排气阀的开度进行调整。
Abstract: The invention provides a pressure control method, being able to improve the productivity. The pressure control method in a film forming apparatus having a plurality of incompletely partitioned processing regions in one vacuum container, includes a first adjustment step of adjusting an opening degree of an exhaust valve provided in each of the processing regions, on the basis of a target pressure and a target flow rate determined for each of the processing regions and learning information indicating a relationship between a flow rate, a pressure and an opening degree, and a second adjustment step of, after the first adjustment step, adjusting an opening degree of an exhaust valve provided in one of the processing regions, on the basis of a pressure in one of the processing regions.
申请人: 东京毅力科创株式会社
Applicant: TOKYO ELECTRON LTD
地址: 日本东京都
发明(设计)人: 千田祐辉
Inventor: YUKI CHIDA
主分类号: C23C16/455(2006.01)I
分类号: C23C16/455(2006.01)I C23C16/52(2006.01)I
  • 法律状态
2019-07-16  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20180211
2018-08-28  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种压力控制方法,是在一个真空容器内具有被不完全地分隔的多个处理区域的成膜装置中的压力控制方法,所述压力控制方法包括:第一调整步骤,基于按所述多个处理区域的各处理区域而定的目标压力和目标流量、以及表示流量与压力与开度的关系的学习信息来对被设置于所述多个处理区域的各个处理区域的排气阀的开度进行调整;以及第二调整步骤,在所述第一调整步骤之后,基于所述多个处理区域中的一个处理区域的压力来对被设置于所述一个处理区域的排气阀的开度进行调整。
公开号  108456871A
公开日  2018-08-28
专利代理机构  北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人  刘新宇
颁证日  
优先权  2017.02.20 JP 2017-029377
 
国别 优先权号 优先权日 类型
JP  2017-029377  20170220 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
US2018237905A1JP2018137294AKR20180096512A
TW201842581A
 
引用文献
JP2010080924A
 
被引用文献