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用于确定气体浓度的设备
审中-实审

Gas concentration sensors and systems

申请号:201710150431.X 申请日:2017-03-14
摘要:本申请案涉及一种用于确定气体浓度的设备。一种化学气相沉积或原子层沉积系统包含用于确定进入到其上的前驱气体的量的气体浓度传感器。所述气体浓度传感器可包含发射器和接收器以用于跨越腔室发射声学信号。在实施例中,所述发射器和接收器经设计以增加所发射信号同时减少所发射噪声,从而促进低压力和高温下所述气体浓度传感器的使用。
Abstract: The application relates to a device for determining gas concentration. A chemical vapor deposition or atomic layer deposition system includes a gas concentration sensor for determining the quantity of precursor gases admitted thereto. The gas concentration sensor can include a transmitter and a receiver for transmitting an acoustic signal across a chamber. In embodiments, the transmitter and receiver are designed to increase transmitted signal while reducing transmitted noise, facilitating use of the gas concentration sensor at low pressure and high temperature.
申请人: 威科仪器有限公司
Applicant: VEECO INSTR INC
地址: 美国纽约州
发明(设计)人: 郑志忠 利奥·陈 克里斯托弗·J·莫拉特 阿林达姆·辛哈洛伊 雷蒙德·C·洛格
Inventor: CHENG CHI-JUNG; CHIN LEO; LOGUE RAYMOND C; SINHAROY ARINDAM; MORATH CHRISTOPHER J
主分类号: G01N29/024(2006.01)I
分类号: G01N29/024(2006.01)I
  • 法律状态
2019-04-09  实质审查的生效IPC(主分类):G01N 29/024申请日:20170314
2017-09-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种用于确定气体浓度的设备,其包括:
声学单元,其界定腔室;
发射器,其包括:
第一换能器,其经配置以发射声学信号;
第一阻尼器,其布置在所述声学单元与所述第一换能器之间;以及
第一变换器,其布置在所述腔室与所述第一换能器之间,所述第一变换器利用金属材 料耦合到所述第一换能器;以及
接收器,其包括:
第二换能器,其经配置以接收所述声学信号;
第二阻尼器,其布置在所述声学单元与所述第二换能器之间;以及
第二变换器,其布置在所述腔室与所述第二换能器之间,所述第二变换器利用所述金 属材料耦合到所述第二换能器。
公开号  107192760A
公开日  2017-09-22
专利代理机构  北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人  王龙
颁证日  
优先权  2016.03.14 US 62/307,798
 
国别 优先权号 优先权日 类型
US  62/307,798  20160314 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数