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一种基体表面碳基减摩耐磨薄膜的制备方法
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Substrate surface carbon-based friction-reducing and wear-resistant film preparation method

申请号:201710089968.X 申请日:2017-02-20
摘要:本发明提供了一种基体表面碳基减摩耐磨薄膜的制备方法。该方法采用磁控溅射和离子束相结合的技术,首先采用磁控溅射技术在清洗后的基体表面依次沉积Cr过渡层和WC支撑层,然后采用阳极离子束沉积类金刚石非晶碳基薄膜层,最后进行退火处理,制得的多层结构薄膜在力学性能和减磨耐磨等方面均获得提升,其硬度为20GPa~25GPa,划痕结合强度大于35N,液压油环境中的摩擦系数小于0.1,液压油环境中的磨损率小于10‑7mm3N‑1m‑1数量级,因此可显著提高轴承与传动件等液压油环境下的液压元件的稳定性和使用寿命,在当代机械工业中具有良好的应用前景。
Abstract: The invention provides a substrate surface carbon-based friction-reducing and wear-resistant film preparation method, which combines magnetron sputtering and ion beam, and comprises: sequentially depositing a Cr transition layer and a WC support layer on the cleaned surface of a substrate by using a magnetron sputtering technology, depositing a diamond-like amorphous carbon-based film layer by using an anode ion beam, and finally carrying out annealing treatment. According to the present invention, the prepared multilayer structure film has the improved performances of mechanical property, friction reducing, wear resistance and the like, has the hardness of 20-25 GPa, has the scratch bonding strength of greater than 35 N, has the friction coefficient of less than 0.1 in the hydraulic oil environment, and has the wear rate of less than 10<-7>mm<3>N<-1>m<-1> in the hydraulic oil environment, such that the stability and the service life of the hydraulic components such as bearings, transmission members and the like in the hydraulic oil environments can be significantly improved so as to provide good application prospect in the contemporary machinery industry.
申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Applicant: NINGBO INST MATERIALS TECH & ENG CAS
地址: 315201 浙江省宁波市镇海区********(隐藏)
发明(设计)人: 王永欣 关晓艳 刘正兵 李金龙 鲁侠 王立平
Inventor: WANG YONGXIN; GUAN XIAOYAN; LIU ZHENGBING; LI JINLONG; LU XIA; WANG LIPING
主分类号: C23C28/00(2006.01)I
分类号: C23C28/00(2006.01)I C23C8/24(2006.01)I C23C14/35(2006.01)I C23C14/14(2006.01)I C23C14/46(2006.01)I C23C14/58(2006.01)I C23C14/02(2006.01)I
  • 法律状态
2020-05-08  授权
2018-09-21  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 28/00申请日:20170220
2018-08-28  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种基体表面碳基减摩耐磨薄膜的制备方法,其特征是:首先采用磁控溅射技术在清洗后的基体表面依次沉积Cr过渡层和WC支撑层,然后采用阳极离子束沉积类金刚石非晶碳基薄膜层,最后进行退火处理。
公开号  108456883A
公开日  2018-08-28
专利代理机构  北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人  单英
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  201710089968  20170220 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
SEA  CN101550541A  20091007  1-10  全文 
SEA  CN104694893A  20150610  1-10  全文 
SEA  CN105369199A  20160302  1-10  全文 
SEA  KR20010061814A  20010707  1-5  全文 
SEA  JP2006052435A  20060223  1-5  全文 
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
SEA  《中国表面工程》  王佳凡等  Cr/WC/DLC薄膜的多环境摩擦学性能  1-10  第50页0引言,1.1薄膜的制备,第51页2.1薄膜的形貌与结构,第54页3结论,图1,图9(a) 
王佳凡等: "Cr/WC/DLC薄膜的多环境摩擦学性能", 《中国表面工程》 
SEA  《新型炭材料》  于斌斌等  阳极离子束在SKD11和YG6基体上沉积DLC膜及其机理  1-10  摘要,第468页1前言,2.1试样的制备,表1,第474页5结论 
于斌斌等: "阳极离子束在SKD11和YG6基体上沉积DLC膜及其机理", 《新型炭材料》 
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
CN108456883B
 
引用文献
JP2006052435AKR20010061814ACN101550541A
CN104694893ACN105369199A
 
被引用文献