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一种MBE分子束外延束源炉
有权

申请号:201621384071.7 申请日:2016-12-13
摘要:本实用新型提供一种MBE分子束外延束源炉,涉及一种MBE分子束外延镀膜设备技术领域。该实用新型包括热解氮化硼坩埚、加热片电极、绝缘陶封电极、水冷管、水冷VCR接头和安装法兰,热解氮化硼坩埚的下端连接有安装法兰,热解氮化硼坩埚上设置有加热片电极和水冷管,绝缘陶封电极包括分别设置在安装法兰左右两端的第一绝缘陶封电极和第二绝缘陶封电极,第一绝缘陶封电极与第一加热片电极连接,第二绝缘陶封电极与第二加热片电极连接,水冷管通过水冷VCR接头与安装法兰上的冷却水管相连接。本实用新型采用大容量50CC坩埚,采取两段控温,在坩埚沿口特加有一路加热装置,避免源料在加热过程中,在坩埚沿口沉积,造成源料污染。
申请人: 沈阳聚智真空设备有限公司
地址: 110000 辽宁省沈阳市大东区********(隐藏)
发明(设计)人: 赵俊华
主分类号: C30B23/02(2006.01)I
分类号: C30B23/02(2006.01)I
  • 法律状态
2017-07-14  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种MBE分子束外延束源炉,其特征在于,包括热解氮化硼坩埚、加热片电极、绝缘陶 封电极、水冷管、水冷VCR接头和安装法兰,所述热解氮化硼坩埚的下端连接有安装法兰,所 述热解氮化硼坩埚上设置有加热片电极和水冷管,所述加热片电极包括分别设置在左右两 端的第一加热片电极和第二加热片电极,所述水冷管包括分别设置在左右两端的第一水冷 管和第二水冷管,所述绝缘陶封电极包括分别设置在所述安装法兰左右两端的第一绝缘陶 封电极和第二绝缘陶封电极,所述第一绝缘陶封电极与所述第一加热片电极连接,所述第 二绝缘陶封电极与所述第二加热片电极连接,所述水冷管通过所述水冷VCR接头与所述安 装法兰上的冷却水管相连接。
公开号  206328491U
公开日  2017-07-14
专利代理机构  
代理人  
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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