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一种具有防爆功能的铜制程装置及铜制程防爆方法
审中-实审

申请号:201610159171.8 申请日:2016-03-18
摘要:本发明公开了一种具有防爆功能的铜制程装置和铜制程防爆方法,铜制程装置包括反应腔室、设于反应腔室下方用于盛放刻蚀用的药液的容器、进液管、回流管、温控单元、自控单元和进液管上的泵,反应腔室内设有用于朝其内的基板喷洒药液的喷淋组件,进液管和回流管分别同时连接在喷淋组件和容器之间,进液管用于在泵的工作下自容器朝喷淋组件运输药液;温控单元包括温度传感器,温度传感器设于容器内,用于实时检测容器内的药液温度;自控单元与温控单元电连接,容器内的药液温度高于预设温度范围时,自控单元控制泵停止工作。本发明可以避免药液温度异常时出现药液容器爆炸的现象,保障了作业人员的人身安全。
申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
地址: 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
发明(设计)人: 李嘉
主分类号: G02F1/1362(2006.01)I
分类号: G02F1/1362(2006.01)I G02F1/133(2006.01)I C23F1/18(2006.01)I C23F1/00(2006.01)I
  • 法律状态
2016-07-27  实质审查的生效IPC(主分类):G02F 1/1362申请日:20160318
2016-06-29  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种具有防爆功能的铜制程装置,其特征在于,包括反应腔室(10)、设于所述反应腔室(10)下方用于盛放刻蚀用的药液的容器(20)、进液管(30)、回流管(40)、温控单元(50)、自控单元(C)和所述进液管(30)上的泵(M),所述反应腔室(10)内设有用于朝其内的基板(S)喷洒药液的喷淋组件(11),所述进液管(30)连接在所述喷淋组件(11)和所述容器(20)之间,所述回流管(40)连接在所述应腔室(10)的底部和所述容器(20)之间,所述进液管(30)用于在所述泵(M)的工作下自所述容器(20)朝所述喷淋组件(11)运输药液;所述温控单元(50)包括温度传感器,所述温度传感器设于所述容器(20)内,用于实时检测所述容器(20)内的药液温度;所述自控单元(C)与所述温控单元(50)电连接,所述容器(20)内的药液温度高于预设温度范围(T0)时,所述自控单元(C)控制所述泵(M)停止工作。
公开号  105717720A
公开日  2016-06-29
专利代理机构  深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304
代理人  孙伟峰
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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