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一种靶圆精确度测量组件
有权

申请号:201520795016.6 申请日:2015-10-15
摘要:本实用新型公开了一种靶圆精确度测量组件,包括圆柱形标靶主体、目标靶位、激光测距仪和处理器,所述的标靶主体底部安装底座,所述的底座由外侧向圆心方向呈阶梯型,所述的目标靶位圆心处安装激光测距仪,所述的激光测距仪的信号输出端与处理器的信号输入端相连。该组件通过底座阶梯型的映射,可以巧妙的判断标靶主体落入目标靶位的位置。
申请人: 南京安力联电子科技有限公司
地址: 210039 江苏省南京市雨花区雨花创业园凤华路18号8栋112室
发明(设计)人: 蒋静 蔡文生 张欣 蒋强
主分类号: G01B11/00(2006.01)I
分类号: G01B11/00(2006.01)I G09B19/00(2006.01)I
  • 法律状态
2016-01-27  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种靶圆精确度测量组件,包括圆柱形标靶主体、目标靶位、激光测距仪和处理器,其特征在于:所述的标靶主体底部安装底座,所述的底座由外侧向圆心方向呈阶梯型,所述的目标靶位圆心处安装激光测距仪,所述的激光测距仪的信号输出端与处理器的信号输入端相连。
公开号  205002739U
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人  汤东凤
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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