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一种太阳能电池硅片刻蚀效果检测仪
有权

Silicon wafers of solar cell sculpture effect detector

申请号:201520727964.6 申请日:2015-09-18
摘要:本实用新型公开一种太阳能电池硅片刻蚀效果检测仪,包括石墨底盘、石墨底座、固定探针和移动探针,所述石墨底盘为光滑平整的平板,所述石墨底座位于所述石墨底盘上,与所述石墨底盘构成一体化结构,所述石墨底座为立方体结构,在所述立方体结构上表面中心处设置竖直孔槽,所述固定探针固定于所述竖直孔槽中,与万用表正极相连,所述移动探针与万用表负极相连。此检测设备,构造简单,易操作,可以同时检测太阳能电池硅片过刻及欠刻问题,更精准的测试产品质量;在检测过程中检测探针不直接接触刻蚀区,避免检测过程中导致电池硅片破坏或污染;此检测设备选用石墨材质,与PECVD供需所使用的石墨成分相同,不会对产品造成污染。
Abstract: The utility model discloses a silicon wafers of solar cell sculpture effect detector, including graphite chassis, graphite base, stationary probe and travelling probe, the graphite chassis is smooth flat board, the graphite base is located on the graphite chassis, with the graphite chassis constitutes the integral structure, the graphite base is the cube structure the structural centre of surface department of cube sets up the vertical hole groove, fixed probe fixing in in the vertical hole groove, link to each other with the universal meter is anodal, the travelling probe links to each other with the universal meter negative pole. This check out test set, the simple structure, easy operation, can detect simultaneously silicon wafers of solar cell cross carve and owe quarter the problem, more accurate test product quality, test probe direct contact sculpture district not in the testing process leads to the battery silicon chip to destroy or pollute in avoiding the testing process, graphite material is chooseed for use to this check out test set, and the graphite composition that uses with the PECVD supply and demand is the same, can not cause the pollution to the product.
申请人: 中节能太阳能科技(镇江)有限公司
Applicant: CECEP SOLAR ENERGY TECH (ZHENJIANG) CO LTD
地址: 212132 江苏省镇江市新区北********(隐藏)
发明(设计)人: 王守志
Inventor: WANG SHOUZHI
主分类号: H01L21/66(2006.01)I
分类号: H01L21/66(2006.01)I H01L31/18(2006.01)I
  • 法律状态
2016-01-06  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种太阳能电池硅片刻蚀效果检测仪,其特征在于包括石墨底盘、石墨底座、固定探针和移动探针,所述石墨底盘为光滑平整的平板,所述石墨底座位于所述石墨底盘上,与所述石墨底盘构成一体化结构,所述石墨底座为立方体结构,在所述立方体结构上表面中心处设置竖直孔槽,所述固定探针固定于所述竖直孔槽中,与万用表正极相连,所述移动探针与万用表负极相连,在检测过程中,将待测太阳能电池硅片扩散面向上放置在所述石墨底片上。
公开号  204946864U
公开日  2016-01-06
专利代理机构  北京天平专利商标代理有限公司 11239
代理人  缪友菊
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  201520727964  20150918 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
 
引用文献
 
被引用文献
WO2018103760A1