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一种太阳能电池硅片刻蚀效果检测仪
有权

申请号:201520727964.6 申请日:2015-09-18
摘要:本实用新型公开一种太阳能电池硅片刻蚀效果检测仪,包括石墨底盘、石墨底座、固定探针和移动探针,所述石墨底盘为光滑平整的平板,所述石墨底座位于所述石墨底盘上,与所述石墨底盘构成一体化结构,所述石墨底座为立方体结构,在所述立方体结构上表面中心处设置竖直孔槽,所述固定探针固定于所述竖直孔槽中,与万用表正极相连,所述移动探针与万用表负极相连。此检测设备,构造简单,易操作,可以同时检测太阳能电池硅片过刻及欠刻问题,更精准的测试产品质量;在检测过程中检测探针不直接接触刻蚀区,避免检测过程中导致电池硅片破坏或污染;此检测设备选用石墨材质,与PECVD供需所使用的石墨成分相同,不会对产品造成污染。
申请人: 中节能太阳能科技(镇江)有限公司
地址: 212132 江苏省镇江市新区北********(隐藏)
发明(设计)人: 王守志
主分类号: H01L21/66(2006.01)I
分类号: H01L21/66(2006.01)I H01L31/18(2006.01)I
  • 法律状态
2016-01-06  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种太阳能电池硅片刻蚀效果检测仪,其特征在于包括石墨底盘、石墨底座、固定探针和移动探针,所述石墨底盘为光滑平整的平板,所述石墨底座位于所述石墨底盘上,与所述石墨底盘构成一体化结构,所述石墨底座为立方体结构,在所述立方体结构上表面中心处设置竖直孔槽,所述固定探针固定于所述竖直孔槽中,与万用表正极相连,所述移动探针与万用表负极相连,在检测过程中,将待测太阳能电池硅片扩散面向上放置在所述石墨底片上。
公开号  204946864U
公开日  2016-01-06
专利代理机构  北京天平专利商标代理有限公司 11239
代理人  缪友菊
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期