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一种PECVD上料承载盒装置
无权-未缴年费

申请号:201520323584.6 申请日:2015-05-19
摘要:本实用新型公开了一种PECVD上料承载盒装置,包括承载盒本体,承载盒本体上设有至少2对承载柱组,每对承载柱组由左右2根承载柱组成,其中至少1对承载柱组的承载柱上设有至少2个卡槽,使花篮同时实现正面卡设于该承载柱组上和反面卡设于该承载柱组上。本实用新型使花篮同时实现正面卡设于该承载柱组上和反面卡设于该承载柱组上,即使承载盒装置内可有放置不同朝向的花篮,这尤其适用于机器插片来分选PN面的方式,使其得到的花篮都能适用于承载盒,从而大大提高了生产效率。
申请人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
地址: 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
发明(设计)人: 孙祥 刘裕通 殷玮玮 王栩生 邢国强
主分类号: H01L31/18(2006.01)I
分类号: H01L31/18(2006.01)I H01L21/673(2006.01)I
  • 法律状态
2017-07-07  未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18申请日:20150519授权公告日:20150826终止日期:20160519
2015-08-26  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种PECVD上料承载盒装置,包括承载盒本体,承载盒本体上设有至少2对承载柱组,每对承载柱组由左右2根承载柱(1)组成,其特征在于:其中至少1对承载柱组的承载柱上设有至少2个卡槽(2),使花篮(5)同时实现正面卡设于该承载柱组上和反面卡设于该承载柱组上。
公开号  204596820U
公开日  2015-08-26
专利代理机构  苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251
代理人  陆金星
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期