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用于薄膜太阳能电池的尾气处理系统
有权

申请号:201520273818.0 申请日:2015-04-30
摘要:本实用新型公开了一种用于薄膜太阳能电池的尾气处理系统,所述尾气包括DEZ尾气和TMA尾气,所述尾气处理系统包括与气体供应站房真空泵排气管连通的尾气入口、与尾气排放口连通的尾气出口和可调式恒温加热的加热装置,所述加热装置设置在尾气入口和尾气出口之间,所述加热装置包括用于可调式恒温加热的管道式外壁,所述管道式外壁的内腔设有阻隔式风道。本实用新型的用于薄膜太阳能电池的尾气处理系统具有尾气处理能力强、尾气处理速度快、安全性高、成本低廉和操作简单的特点。
申请人: 广东汉能薄膜太阳能有限公司
地址: 517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路
发明(设计)人: 汤安东 董光有 唐意军 张铭
主分类号: H01L31/18(2006.01)I
分类号: H01L31/18(2006.01)I
  • 法律状态
2015-08-26  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种用于薄膜太阳能电池的尾气处理系统,所述尾气包括DEZ尾气和TMA尾气,所述尾气处理系统包括与气体供应站房真空泵(9)排气管连通的尾气入口(1)和与尾气排放口连通的尾气出口(2),其特征在于:所述尾气处理系统还包括可调式恒温加热的加热装置,所述加热装置设置在尾气入口(1)和尾气出口(2)之间,所述加热装置包括用于可调式恒温加热的管道式外壁,所述管道式外壁的内腔设有阻隔式风道。
公开号  204596816U
公开日  2015-08-26
专利代理机构  深圳市千纳专利代理有限公司 44218
代理人  童海霓 刘彦
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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