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一种用于硅片清洗的组合式装载片盒
有权

申请号:201520250092.9 申请日:2015-04-23
摘要:一种用于硅片清洗的组合式装载片盒,属于硅单晶片的生产领域,由外套片盒和装载4英寸硅片的内置片盒构成,且内置片盒以可拆卸方式嵌套在外套片盒内。本实用新型通过在外套片盒内设置内置片盒,将4英寸硅片装载在内置片盒内实现了清洗机对4英寸硅片的兼容,实现了清洗机对三种尺寸硅片的兼容,制作简单,使用方便,避免了额外购置清洗机来清洗不同尺寸硅片导致的成本提升。
申请人: 麦斯克电子材料有限公司
地址: 471000 河南省洛阳市洛阳高新技术产业开发区滨河北路99号
发明(设计)人: 熊诚雷 邵奇 吴跃峰
主分类号: H01L21/67(2006.01)I
分类号: H01L21/67(2006.01)I H01L21/673(2006.01)I B08B13/00(2006.01)I
  • 法律状态
2015-08-26  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种用于硅片清洗的组合式装载片盒,其特征在于:由外套片盒(1)和内置片盒(2)构成,且内置片盒(2)以可拆卸方式嵌套在外套片盒(1)内,其中,外套片盒(1)上部和底部分别设有外沿Ⅰ(101)和底脚(102),且外沿Ⅰ(101)和底脚(102)的尺寸与现有5英寸特氟龙片盒尺寸相同,外套片盒(1)的中部设置有加强筋(103),所述内置片盒(2)内设置有装载4英寸硅片的卡槽。
公开号  204596762U
公开日  2015-08-26
专利代理机构  洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120
代理人  罗民健
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期